技术编号：9155974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空镀膜机行星工件盘在镀膜过程中为确保产品的膜层均匀性需设置在箱体中心，可以绕箱体中心公转，也可绕工件轴中心自转，由于行星工件盘本身的结构复杂，体积大重量重，且镀膜工作介质变化频繁，加工不同的产品镀制不同膜系，将使用不同膜料，如二氧化硅、三氧化二铝，氧化锌、氧化锆、碳等常作为膜料用于产品的镀制，常用行星工件盘中心定位装置大多采用在镀膜设备箱体底板中心用销定位后螺钉锁死行星工件盘的固定齿轮，固定齿轮的几何中心即为行星工件盘公转的旋转中心，行星工件盘其他部件均...
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