一种真空镀膜机工件盘中心定位装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于镀膜设备领域，具体涉及一种真空镀膜机工件盘中心定位装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机行星工件盘在镀膜过程中为确保产品的膜层均匀性需设置在箱体中心，可以绕箱体中心公转，也可绕工件轴中心自转，由于行星工件盘本身的结构复杂，体积大重量重，且镀膜工作介质变化频繁，加工不同的产品镀制不同膜系，将使用不同膜料，如:二氧化硅、三氧化二铝，氧化锌、氧化锆、碳等常作为膜料用于产品的镀制，常用行星工件盘中心定位装置大多采用在镀膜设备箱体底板中心用销定位后螺钉锁死行星工件盘的固定齿轮，固定齿轮的几何中心即为行星工件盘公转的旋转中心，行星工件盘其他部件均装在固定齿轮上，但这种装置存在如下缺点:1、由于是采用中心定位后锁紧螺钉锁死，若该中心非行星工件盘的重心，则在旋转过程中将产生扭矩，由于工件盘重量重，产生的扭矩也将比较大，长期使用后会引起箱体变形甚至锁紧装置的疲劳破坏；2、由于该反案行星工件盘是从下往上装在设备箱体上，因此拆卸工件盘清洗必须将工件盘从上往下的整体拆卸，非常复杂和麻烦；3、在镀膜过程中，由于镀膜融料温度较高，螺钉和定位销会频繁经受不停的热冲击，频繁冲击后锁紧装置的强度将会受到影响，在拆卸过程中常出现锁紧螺钉断裂，将会给拆卸和后续的复原装配造成极大困难。
【实用新型内容】
[0003]为解决目前现有技术问题，本实用新型提供一种真空镀膜机行星工件盘中心定位的专用装置，该装置通过对真空镀膜机行星工件盘定位装置进行优化设计和制作，彻底解决行星工件盘拆卸困难且锁紧装置易损坏的问题，同时具备拆卸方便、重复定位精度高、投入低、运行效果好的特点。
[0004]本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案为:一种真空镀膜机工件盘中心定位装置，其特征在于包括:行星工件盘固定齿轮、工件盘固定齿轮拖动轨道、中心定位锥1、中心定位锥2和工件盘锁紧装置，在镀膜机箱体上固定有两根所述工件盘固定齿轮拖动轨道，所述行星工件盘固定齿轮放置在工件盘固定齿轮拖动轨道，固定齿轮上设置有2个定位锥孔与中心定位锥I和中心定位锥2配合，所述中心定位锥I和中心定位锥2连线的中点为箱体几何中心，工件盘固定齿轮上的2个定位锥孔确定的中心为工件盘的几何中心，定位锥和锥孔配合后使两个中心重合，达到工件盘中心定位的需求，使用工件盘锁紧装置锁死即可，在箱体底板几何中心线位置的两个中心定位锥，其中一个中心定位锥安装在压紧装置上，能够进行拆卸、移动和锁死动作，中心定位锥的连线与箱体底板中心线平行，所述行星工件盘固定齿轮放置在与箱体中心线平行的拖动轨道上，行星工件盘固定齿轮上有两个锥孔，锥孔位置背靠背，以与中心定位锥配合，并确保两个锥孔连接线在固定大齿轮上的投影与固定齿轮直径重合。
[0005]本实用新型具有以下有益效果:本实用新型装置通过对真空镀膜机行星工件盘定位装置进行优化设计和制作，彻底解决行星工件盘拆卸困难且锁紧装置易损坏的问题，同时具备拆卸方便、重复定位精度高、投入低、运行效果好的特点。
【附图说明】
[0006]图1是本实用新型中心定位装置箱体部分；
[0007]图2是本实用新型行星工件盘固定齿轮结构示意图；
[0008]图中:1_箱体底板；2_工件盘固定齿轮拖动轨道；3_中心定位锥2 ;4_中心定位锥I ;5_工件盘锁紧装置；6_工件盘固定齿轮拖动轨道锁紧螺钉；7_行星工件盘固定齿轮。
【具体实施方式】
[0009]如图一、二所示:
[0010]—种真空镀膜机工件盘中心定位装置，包括:行星工件盘固定齿轮(7)、工件盘固定齿轮拖动轨道(2)、中心定位锥I (4)、中心定位锥2 (3)和工件盘锁紧装置(5)，在镀膜机箱体上固定有两根所述工件盘固定齿轮拖动轨道，所述行星工件盘固定齿轮放置在工件盘固定齿轮拖动轨道，固定齿轮上设置有2个定位锥孔与中心定位锥I和中心定位锥2配合，所述中心定位锥I和中心定位锥2连线的中点为箱体几何中心，工件盘固定齿轮上的2个定位锥孔确定的中心为工件盘的几何中心，定位锥和锥孔配合后使两个中心重合，达到工件盘中心定位的需求，使用工件盘锁紧装置锁死即可，在箱体底板几何中心线位置的两个中心定位锥，其中一个中心定位锥安装在压紧装置上，能够进行拆卸、移动和锁死动作，中心定位锥的连线与箱体底板中心线平行，所述行星工件盘固定齿轮放置在与箱体中心线平行的拖动轨道上，行星工件盘固定齿轮上有两个锥孔，锥孔位置背靠背，以与中心定位锥配合，并确保两个锥孔连接线在固定大齿轮上的投影与固定齿轮直径重合
[0011]将2根工件盘固定齿轮拖动轨道(2)通过工件盘固定齿轮拖动轨道锁紧螺钉(6)固定在箱体底板(I)上，并以箱体底板(I)的中心线平行对称，将中心定位锥I (4)固定在箱体底板(I)的中心线上，将行星工件盘固定齿轮(7)放置在工件盘固定齿轮拖动轨道(2)上，确保定位锥孔I与中心定位锥I (4)有效接触并压紧，将工件盘锁紧装置(5)装在箱体地板上，调节锁紧装置锁紧螺杆，将中心定位锥2 (3)的安装板沿底板中心线向前推动，直至让中心定位锥2 (3)与行星工件盘固定齿轮上的定位锥孔2有效接触并压紧，则完成行星工件盘固定齿轮与箱体底板几何中心的完全重合。
[0012]以上所述，仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜机工件盘中心定位装置，其特征在于包括:行星工件盘固定齿轮、工件盘固定齿轮拖动轨道、中心定位锥1、中心定位锥2和工件盘锁紧装置，在镀膜机箱体上固定有两根所述工件盘固定齿轮拖动轨道，所述行星工件盘固定齿轮放置在工件盘固定齿轮拖动轨道，固定齿轮上设置有2个定位锥孔与中心定位锥I和中心定位锥2配合，所述中心定位锥I和中心定位锥2连线的中点为箱体几何中心，工件盘固定齿轮上的2个定位锥孔确定的中心为工件盘的几何中心，定位锥和锥孔配合后使两个中心重合，达到工件盘中心定位的需求，使用工件盘锁紧装置锁死即可，在箱体底板几何中心线位置的两个中心定位锥，其中一个中心定位锥安装在压紧装置上，能够进行拆卸、移动和锁死动作，中心定位锥的连线与箱体底板中心线平行，所述行星工件盘固定齿轮放置在与箱体中心线平行的拖动轨道上，行星工件盘固定齿轮上有两个锥孔，锥孔位置背靠背，以与中心定位锥配合，并确保两个锥孔连接线在固定大齿轮上的投影与固定齿轮直径重合。
【专利摘要】本实用新型属于镀膜设备领域，具体涉及一种真空镀膜机工件盘中心定位装置，包括：行星工件盘固定齿轮（7）、工件盘固定齿轮拖动轨道（2）、中心定位锥1（4）、中心定位锥2（3）和工件盘锁紧装置（5），本实用新型通过对真空镀膜机行星工件盘定位装置进行优化设计和制作，彻底解决行星工件盘拆卸困难且锁紧装置易损坏的问题，同时具备拆卸方便、重复定位精度高、投入低、运行效果好的特点。
【IPC分类】C23C14/50
【公开号】CN204825042
【申请号】CN201520565780
【发明人】张斌, 张松林
【申请人】成都超迈光电科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年10月11日