一种真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及机械设备制造领域，具体涉及需要工件盘与真空箱体整体绝缘的工况、真空蒸发镀膜、真空离子镀膜和真空多弧镀膜设备的工件盘与箱体整体绝缘工况下的真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置。
【背景技术】
[0002]由于真空镀膜特定工艺和设备安全操作的需要，真空镀膜机根据不同的镀膜方式常将将工件盘与真空箱体整体绝缘，这样可在工件盘上加偏压，部分工艺工件盘偏压甚至大于5000V，若真空箱体不能与工件盘整体绝缘将会对产品的镀膜质量和设备的安全操作带来巨大隐患，鉴于此，必须进行优良的绝缘设计和制造，目前，国内绝大多数设备工件盘与箱体绝缘常采用陶瓷轴承支撑工件自转系的方式进行，此方式在使用初期能够起到较好的绝缘作用，但是随设备使用工作时间的增加，在陶瓷轴承支撑座与陶瓷轴承之间间隙将被磨料或镀膜中产生的粉尘填塞，工件盘加偏压工作时将要发生打火，对绝缘的安全性将是巨大挑战，同时打火将可能导致紧固陶瓷轴承的紧固件损坏，这样陶瓷轴承损坏后将难以拆卸，因此一种既能够优良绝缘，又能够便于维护保养的绝缘结构迫在眉睫。
【实用新型内容】
[0003]为解决目前现有技术问题，本实用新型将设备工件盘放置在特定轨道上，轨道与真空箱体使用绝缘材料和绝缘设计达到工件盘与真空箱体整体绝缘的目的的一种真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置。
[0004]本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案为:一种真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置，其特征在于包括:箱体底座、绝缘垫块、放置工件盘轨道、紧固件绝缘筒、不锈钢平面垫圈、不锈钢内六角螺钉、防电离绝缘块，所述工件盘放置在轨道上，轨道与箱体通过不锈钢内六角螺钉连接，轨道与箱体底座之间用15-30mm聚四氟乙烯的绝缘垫块隔离，内六角螺钉穿过紧固件绝缘筒与箱体底座螺纹连接并锁紧，内六角螺钉下垫有不锈钢平面垫圈，紧固件绝缘筒顶部通过防电离绝缘块与紧固件绝缘筒过盈配合压紧，防止电离打火损坏不锈钢螺钉。
[0005]优选的，以上所有配合间隙不超过3mm;
[0006]优选的，所述绝缘垫块厚度为15-30mm。
[0007]本实用新型具有以下有益效果:本实用新型装置可让工件盘与真空箱体整体绝缘更加具有可靠性，同时对于绝缘部件的维护保养将极其便捷有效，由于采用了特定的工艺，不会在绝缘部件之间的空隙发生电离打火现象，因此，该装置具有安全性、可靠性和维护保养的便捷性。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型正面结构示意图；
[0009]图中:1-箱体底座；2_绝缘垫块；3放置工件盘轨道；4_紧固件绝缘筒；5_不锈钢平面垫圈；6_不锈钢内六角螺钉；7_防电离绝缘块。
【具体实施方式】
[0010]工件盘放置在轨道上，轨道与箱体通过不锈钢内六角螺钉(6)连接，轨道(3)与箱体底座(I)之间用15-30mm聚四氟乙烯绝缘垫块(2)隔离，内六角螺钉(6)穿过紧固件绝缘筒(4)与箱体底座螺纹连接并锁紧，内六角螺钉(6)下垫不锈钢平面垫圈(5)，防止锁死过程中紧固件绝缘筒(5)受力不均变形损坏，紧固件绝缘筒(5)顶部通过防电离绝缘块(7)与紧固件绝缘筒(5)过盈配合压紧，防止电离打火损坏不锈钢螺钉。
[0011]要确保工件盘与箱体整体绝缘，必须确保放置工件盘轨道(3)与箱体底座(I)整体绝缘，放置工件盘轨道(3)与箱体底座(I)通过不锈钢内六角螺钉(6)联接紧固，放置工件盘轨道(3)与箱体底座(I)之间平面接触面均使用聚四氟乙烯材料的绝缘垫块(2)进行绝缘，不锈钢内六角螺钉(6)需通过放置工件盘轨道的圆孔与箱体底座(I)面上的螺纹孔进行配合锁紧，不锈钢内六角螺钉(6)与放置工件盘轨道(3)之间的绝缘采用聚四氟乙烯材料的紧固件绝缘筒(4)来进行绝缘，必须确保绝缘筒穿过放置工件盘轨道(3)上的圆孔如图，不锈钢内六角螺钉(6)加装不锈钢平面垫圈(5)，确保紧固件绝缘筒(4)均匀受力，不被不锈钢内六角螺钉(6)锁紧时损坏，在紧固件绝缘筒(4)上端加装防电离绝缘块(7)，确保不锈钢内六角螺钉(6 )不被镀膜过程中的电离打火损坏
[0012]以上所述，仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置，其特征在于包括:箱体底座、绝缘垫块、放置工件盘轨道、紧固件绝缘筒、不锈钢平面垫圈、不锈钢内六角螺钉、防电离绝缘块，所述工件盘放置在轨道上，轨道与箱体通过不锈钢内六角螺钉连接，轨道与箱体底座之间用15-30mm聚四氟乙烯的绝缘垫块隔离，内六角螺钉穿过紧固件绝缘筒与箱体底座螺纹连接并锁紧，内六角螺钉下垫有不锈钢平面垫圈，紧固件绝缘筒顶部通过防电离绝缘块与紧固件绝缘筒过盈配合压紧，防止电离打火损坏不锈钢螺钉。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置，其特征在于以上所有配合间隙不超过3mm。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置，其特征在于所述绝缘垫块厚度为15-30_。
【专利摘要】本实用新型涉及机械设备制造领域，具体涉及需要工件盘与真空箱体整体绝缘的工况、真空蒸发镀膜、真空离子镀膜和真空多弧镀膜设备的工件盘与箱体整体绝缘工况下的真空镀膜机工件盘与箱体整体绝缘联接装置，包括：箱体底座、绝缘垫块、放置工件盘轨道、紧固件绝缘筒、不锈钢平面垫圈、不锈钢内六角螺钉、防电离绝缘块，本实用新型装置可让工件盘与真空箱体整体绝缘更加具有可靠性，同时对于绝缘部件的维护保养将极其便捷有效，由于采用了特定的工艺，不会在绝缘部件之间的空隙发生电离打火现象，因此，该装置具有安全性、可靠性和维护保养的便捷性。
【IPC分类】C23C14/00, C23C14/50
【公开号】CN204825041
【申请号】CN201520564360
【发明人】张斌, 张松林
【申请人】成都超迈光电科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月30日