技术编号：9186268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前在对较大面积光滑表面的微缺陷检测方面缺乏快速有效地方法。现有的基于机器视觉的检测方法存在检测速度慢，对微小缺陷灵敏度低等的缺点，无法满足工业生产中对微小缺陷的在线检测需求；而采用激光散射方法可非常灵敏及快速地检测光滑表面的微小瑕疵。采用远心扫描镜将一束激光束以正入射的方法聚焦到被测表面，可有效检测由表面瑕疯产生的散射光。在实际应用中，如不借助于外加方法，要将扫描激光束最佳地聚集在被测表面是有一定困难的，一种方法是将一个表面有细小划痕的被测面放置扫描激光...
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