一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于激光检测技术领域，涉及一种表面微缺陷检测装置，尤其涉及一种基于激光散射的表面微缺陷检测装置。
【背景技术】
[0002]目前在对较大面积光滑表面的微缺陷检测方面缺乏快速有效地方法。现有的基于机器视觉的检测方法存在检测速度慢，对微小缺陷灵敏度低等的缺点，无法满足工业生产中对微小缺陷的在线检测需求；而采用激光散射方法可非常灵敏及快速地检测光滑表面的微小瑕疵。采用远心扫描镜将一束激光束以正入射的方法聚焦到被测表面，可有效检测由表面瑕疯产生的散射光。
[0003]在实际应用中，如不借助于外加方法，要将扫描激光束最佳地聚集在被测表面是有一定困难的，一种方法是将一个表面有细小划痕的被测面放置扫描激光束的光路中，通过观察激光束扫描后的光强轮廓图中对应的细小划痕产生的峰值的变化来确定，当峰值达到最高时，即为最佳聚焦位置，见图一，但这种方法在实际应用中比较麻烦，有待改进。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型针对现有技术的不足，提供了一种可非常方便和快捷地将激光散射扫描系统聚焦在被测表面上，同时，与该扫描系统连接的显微镜还可用来对激光散射检测到的表面瑕疵进行定量观察的利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置。
[0005]为实现本实用新型目的，提供了以下技术方案:一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，包括激光散射瑕疵检测仪，其特征在于激光散射瑕疵检测仪上设置有干涉显微镜，干涉显微镜固定于一连接装置上，连接装置与激光散射瑕疵检测仪固定连接，所述连接装置包括支架，支架一端固定有旋转套筒，另一端设置有套筒，套接于设置于光散射瑕疵检测仪壳体的凸块上，所述干涉显微镜与旋转套筒旋接，所述支架由3段杆体组成，3段杆体相互铰接，可折叠旋转调节干涉显微镜高度和角度，使其位于检测物体表面。
[0006]作为优选，所述干涉显微镜包括筒体，筒体内依次设置的起偏器、放大镜、分束器、显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的干涉棱镜，光源依次经过所述放大镜和起偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过干涉棱镜，将入射线偏振光分成两束具有0.05~0.12°夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述干涉棱镜重新复合共线。
[0007]本实用新型有益效果:安装一套聚集位置与扫描系统一致，视场中心位置与扫描系统的中心位置有固定关系的显微镜系统。通过事先将显微系统的聚焦位置与激光散射扫描的聚集位置校正好，在检测新的被测表面时，可通过显微镜先观察被测表面上的微细缺陷或被测表面的边缘，当显微镜中的图像清晰时，激光散射扫描系统就在其最佳聚焦位置。通过放置一个表面有微小划痕的被测样品，并将划痕放置在激光扫描的光路中，观察激光散射扫描产生的光强轮廓图，调整激光散射的焦距位置，是划痕产生的散射光强达到最大，锁定激光散射的焦距位置，然后将该划痕移动到显微镜视场中，调节显微镜焦距位置，是视场中的划痕图像最清晰，锁定显微镜的焦距位置，此时，激光散射扫描系统与显微镜系统的焦距一致。满足工业生产中对微小缺陷的在线检测需求。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的结构示意图。
[0009]图2为图1中连接装置示意图。
【具体实施方式】
[0010]实施例1: 一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，包括激光散射瑕疵检测仪1，激光散射瑕疵检测仪I上设置有干涉显微镜2，干涉显微镜2固定于一连接装置上，连接装置与激光散射瑕疵检测仪I固定连接，所述连接装置包括支架3.1，支架3.1一端固定有旋转套筒3.2，另一端设置有套筒3.3，套接于设置于光散射瑕疵检测仪I壳体的凸块1.1上，所述干涉显微镜2与旋转套筒3.2旋接，所述支架3.1由3段杆体3.1.1组成，3段杆体3.1.1相互铰接，可折叠旋转调节干涉显微镜2高度和角度，使其位于检测物体表面。所述干涉显微镜2包括筒体，筒体内依次设置的起偏器2.1、放大镜2.2、分束器2.3、显微镜2.4和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的干涉棱镜2.5，光源依次经过所述放大镜2.2和起偏器2.1形成线偏振光，并经所述分束器2.3反射后再通过干涉棱镜2.5，将入射线偏振光分成两束具有0.05-0.12°夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述干涉棱镜2.5重新复合共线。
[0011]这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普通技术人员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该清楚的是，在不脱离本实用新型的精神或本质特征的情况下，本实用新型可以以其它形式、结构、布置、比例，以及用其它组件、材料和部件来实现。在不脱离本实用新型范围和精神的情况下，可以对这里所披露的实施例进行其它变形和改变。
【主权项】
1.一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，包括激光散射瑕疵检测仪，其特征在于激光散射瑕疵检测仪上设置有干涉显微镜，干涉显微镜固定于一连接装置上，连接装置与激光散射瑕疵检测仪固定连接，所述连接装置包括支架，支架一端固定有旋转套筒，另一端设置有套筒，套接于设置于光散射瑕疵检测仪壳体的凸块上，所述干涉显微镜与旋转套筒旋接，所述支架由3段杆体组成，3段杆体相互铰接，可折叠旋转调节干涉显微镜高度和角度，使其位于检测物体表面。2.根据权利要求1所述的一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，其特征在于所述干涉显微镜包括筒体，筒体内依次设置的起偏器、放大镜、分束器、显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的干涉棱镜，光源依次经过所述放大镜和起偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过干涉棱镜，将入射线偏振光分成两束具有0.05~0.12°夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述干涉棱镜重新复合共线。
【专利摘要】一种利用内置显微镜自动聚焦激光散射瑕疵检测装置，包括激光散射瑕疵检测仪，激光散射瑕疵检测仪上设置有干涉显微镜，干涉显微镜固定于一连接装置上，连接装置与激光散射瑕疵检测仪固定连接，所述连接装置包括支架，支架一端固定有旋转套筒，另一端设置有套筒，套接于设置于光散射瑕疵检测仪壳体的凸块上，所述干涉显微镜与旋转套筒旋接，所述支架由3段杆体组成，3段杆体相互铰接，可折叠旋转调节干涉显微镜高度和角度，使其位于检测物体表面。满足工业生产中对微小缺陷的在线检测需求。
【IPC分类】G01N21/88
【公开号】CN204855399
【申请号】CN201520548564
【发明人】陆惠宗
【申请人】无锡迈福光学科技有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月27日