观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统的制作方法

文档序号:9706764阅读:468来源:国知局
观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种支持对表示具有周期性的图案的图像进行观察的技术。
【背景技术】
[0002]在触摸屏的制造中,利用经由透明配线而连接于透明电极的金属电极来进行导通检查。在利用导通检查而确认了导通不良的情况下,为了特定不良部位,作业人员使用激光显微镜或光学显微镜,沿着与被确认导通不良的金属电极相连的配线,来观察该配线及透明电极。
[0003]另外,专利文献1中揭示了如下方法:通过设置配线图案中以规定间距排列的多个电极端子部中的如下的电极端子部,而容易特定配线位置,所述电极端子部具有成为特定配线图案的配线位置时的指标的特殊形状或长度。而且,专利文献2中,提出有获取形成于基材上的透明电极的图案的检查图像的装置。专利文献2的装置中,求出从光照射部到拍摄区域的光轴与基材的法线所成的照射角的设定角度,将照射角设定为设定角度,将从拍摄区域到线传感器的光轴与法线所成的检测角也设定为该设定角度,由此获取对比度高的检查图像。
[0004][现有技术文献]
[0005][专利文献]
[0006][专利文献1]国际公开第2007/013528号
[0007][专利文献2]日本专利特开2012-251808号公报

【发明内容】

[0008][发明所要解决的问题]
[0009]且说,在使用激光显微镜或光学显微镜的情况下,在进行配线及透明电极的观察时的倍率下,观察视野非常小,因而在配线或透明电极密集的区域,非常难以判断哪个为观察对象(即,确认为导通不良者)。即便在采用专利文献1的方法的情况下,在离开电极端子部的区域也会产生相同的问题。还考虑利用专利文献2的装置来获取表示透明电极图案的图像,由此在该图像中掌握整体图像并观察配线。然而,即便在所述图像中,在配线或透明电极密集的区域,仍然容易弄错观察对象。
[0010]本发明是鉴于所述课题而完成,目的在于适当地支持作业人员对图案图像的观察。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012]技术方案1所述的发明为支持对表示具有周期性的图案的图像进行观察的观察支持装置,包括:存储部,存储表示基材上的图案的图案图像,所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线;显示部,显示图像;输入受理部,受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入;区域特定部,将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域;以及显示控制部,能够识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于所述显示部。
[0013]技术方案2所述的发明为技术方案1所述的观察支持装置,所述多个元件为多个电极,所述多个电极包括在所述图案图像中亮度不同的多个第一电极及多个第二电极,所述特定区域包括表示第一电极的区域及表示第二电极的区域。
[0014]技术方案3所述的发明根据技术方案1或2所述的观察支持装置,所述指定位置表示所述图案中的缺陷的位置、或与所述缺陷有关的电极的位置。
[0015]技术方案4所述的发明根据技术方案1至3中任一项所述的观察支持装置,在所述输入受理部中受理指示所述显示部中显示的所述图案图像的放大显示或缩小显示的输入,所述显示控制部能够识别所述特定区域,并且使经放大或缩小的所述图案图像再次显示于所述显示部。
[0016]技术方案5所述的发明为支持对表示具有周期性的图案的图像进行观察的观察支持方法,包括下述步骤:a)准备表示基材上的图案的图案图像,所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线,b)受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入;c)将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域;以及d)能够识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部。
[0017]技术方案6所述的发明根据技术方案5所述的观察支持方法,所述多个元件为多个电极,所述多个电极包括在所述图案图像中亮度不同的多个第一电极及多个第二电极,所述特定区域包括表示第一电极的区域及表示第二电极的区域。
[0018]技术方案7所述的发明根据技术方案5或6所述的观察支持方法,所述指定位置表示所述图案中的缺陷的位置、或与所述缺陷有关的电极的位置。
[0019]技术方案8所述的发明根据技术方案5至7中任一项所述的观察支持方法,还包括下述步骤:受理指示所述显示部中显示的所述图案图像的放大显示或缩小显示的输入;能够识别所述特定区域,并且可使经放大或缩小的所述图案图像再次显示于所述显示部。
[0020]技术方案9所述的发明是用于支持对表示具有周期性的图案的图像的观察的观察支持系统,所述观察支持系统包括:准备表示基材上的图案的图案图像,所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线的模块,受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入的模块;将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域的模块;以及能够识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部的模块。
[0021][发明的效果]
[0022]根据本发明,能够使作业人员容易识别图案区域中与指定位置相连的区域,从而可适当支持作业人员对图案图像的观察。
【附图说明】
[0023]图1是表示图像获取装置的构成的图。
[0024]图2是表示计算机的构成的图。
[0025]图3是表示计算机所实现的功能构成的方块图。
[0026]图4是表不基材上的图案的图。
[0027]图5是表示获取基材上的图案的图像的动作的流程的图。
[0028]图6是表示图案图像的图。
[0029]图7是表示支持图像的观察的动作的流程的图。
[0030]图8是表不显不器中显不的图案图像的图。
[0031]图9是表不显不器中显不的图案图像的图。
[0032]图10是表不显不器中显不的图案图像的图。
[0033]附图标记:
[0034]1:图像获取装置
[0035]3:计算机
[0036]4:观察支持装置
[0037]9:基材
[0038]11:移动机构
[0039]13:拍摄单元
[0040]21:平台
[0041]22:X方向移动部
[0042]23:Y方向移动部
[0043]30:记录媒体
[0044]31:CPU
[0045]32:ROM
[0046]33:RAM
[0047]34:固定磁盘
[0048]35:显示器
[0049]36:输入部
[0050]36a:键盘
[0051]36b:鼠标
[0052]37:读取装置
[0053]38:通信部
[0054]40:运算部
[0055]41:输入受理部
[0056]42:区域特定部
[0057]43:显示控制部
[0058]49:存储部
[0059]80:图案区域
[0060]90:拍摄区域
[0061]131:光照射部
[0062]132:线传感器
[0063]133:角度变更机构
[0064]134:底壁
[0065]135、136:电动机
[0066]201:第一开口
[0067]202:第二开口
[0068]300:程序
[0069]491:图案图像数据
[0070]811:透明电极区域
[0071]812:透明配线区域
[0072]821、821a:金属电极区域
[0073]822:金属配线区域
[0074]911:透明电极
[0075]912:透明配线
[0076]921:金属电极
[0077]922:金属配线
[0078]A1:虚线
[0079]G1:引导线
[0080]G2:双点划线
[0081]J1、J2:光轴
[0082]K1:缺陷
[0083]N:法线
[0084]S11 ?S13、S20 ?S26:步骤
[0085]X、Y、Z:方向
[0086]θ 1:照射角
[0087]Θ 2:检测角
【具体实施方式】
[0088]图1是表示本发明的一实施方式的图像获取装置1的构成的图。图像获取装置1为如下装置,即,获取形成于基材9上的薄膜图案的图像,并且支持作业人员对该图像的观察。本实施方式中,基材9为玻璃基板或透明膜。薄膜图案例如为透明导电膜或金属膜。也可在基材9上设置抗反射膜等其他膜。以下的说明中,将薄膜图案简称作“图案”。基材9用于例如静电电容型的触摸屏
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