显示器35的图案图像中的该一对金属电极921中的一者的位置(金属电极区域821)。输入受理部41中，受理将图案区域80中的该位置指定为指定位置的输入(步骤S22)。
[0107]另一方面，区域特定部42中，对图案图像实施规定的边缘检测处理(例如利用一次微分滤波器或二次微分滤波器的边缘检测处理)。由此，抽出包含各自彼此相连的金属电极区域821及金属配线区域822的多个部分区域，及包含各自彼此相连的多个透明电极区域811及透明配线区域812的多个部分区域。而且，在包含金属电极区域821及金属配线区域822的部分区域、与包含透明电极区域811及透明配线区域812的部分区域相连的情况下，这些部分区域结合在一起，而成为一个部分区域。利用以上的处理，在图案区域80中获取多个部分区域。而且，将包含所述指定位置的部分区域特定为特定区域(步骤S23)。特定区域为在图案区域80中与指定位置相连的区域。
[0108]显示控制部43可识别特定区域并且使图案图像再次显示于显示器35 (步骤S24)。图8的例中，将附上符号821a的金属电极区域指定为指定位置，将包含该金属电极区域821a的部分区域特定为特定区域。而且，将粗虚线G1 (以下称作“引导线G1”)重叠于特定区域中的一边缘(沿着特定区域延伸的方向的一边缘)，由此可识别特定区域。作业人员不会与其他部分区域弄错，而能够沿着引导线G1观察特定区域中所含的金属配线区域822、透明配线区域812及透明电极区域811。优选的引导线为显示于显示器35的图案图像中所不包含的规定颜色的线。即，引导线优选与图案图像分色显示。
[0109]如图9所示，在金属配线区域822的断线作为缺陷K1而产生的情况下，仅对金属配线区域822中以缺陷K1为边界的一方附上引导线G1，不对另一方附上引导线G1。因此，作业人员通过参照引导线G1，而能够容易特定断线位置。区域特定部42中，也可显示基材9上的断线位置的座标值等位置信息或保存位置信息的数据。另外，也可由规定的颜色的线来包围特定区域的周围，由规定的颜色来涂布特定区域，以固定的间隔将规定的标记重叠于特定区域等，能够由此来识别特定区域。
[0110]而且，由作业人员进行指示图8中附上符号G2的双点划线的矩形区域的放大显示的输入，当该输入由输入受理部41受理时(步骤S25)，显示控制部43如图10所示，使经放大的图案图像再次显示于显示器35(步骤S26)。此时，所显示的图案图像中，将引导线G1重叠于特定区域的边缘，从而维持特定区域能够被识别的状态。因此，作业人员在经放大的图案图像中，也不会将特定区域与其他部分区域弄错。步骤S25中，也可由输入受理部41受理指示显示于显示器35的图案图像的缩小显示的输入，该情况下，可识别特定区域并且再次显示经缩小的图案图像。
[0111]视需要重复进行所述步骤S22?步骤S26，而支持作业人员对图案图像的观察。此时，由步骤S22指定的指定位置不限定于因导通不良而与缺陷有关的金属电极921的位置，也可为任意的位置。观察支持装置4中，也可确认任意的指定位置是否连接于一对金属电极区域821的双方(有无图像上的导通)。
[0112]如以上说明般，观察支持装置4中，如果受理将图案区域80中的一个位置指定为指定位置的输入，则将该图案区域80中的与指定位置相连的区域特定为特定区域。而且，可识别特定区域并且使图案图像显示于显示器35。由此，可使作业人员容易识别图案区域80中与指定位置相连的区域，从而可适当支持作业人员对图案图像的观察。
[0113]而且，即便在基材9上的图案包含在图案图像中亮度不同的多个透明电极911与多个金属电极921的情况下，区域特定部42中，也能够以特定区域包含表示透明电极911的透明电极区域811与表示金属电极921的金属电极区域821的方式抽出区域。由此，可容易识别透明电极911与金属电极921的连接状态。
[0114]例如，在导通检查前，图像获取装置1中获取图案图像，并通过将该图案图像与CAD数据等设计数据进行比较(线宽比较或差分比较等)来进行检查。在基于所述图案图像的检查中检测到图案的缺陷的情况下，由作业人员观察图案图像。在图案图像的观察中，将该缺陷的位置指定为指定位置，可识别与指定位置相连并且包含缺陷的特定区域，并且使图案图像显示于显示器35。由此，可使作业人员容易识别与缺陷相关的特定区域，从而可预测导通检查中导通不良的可能性高的金属电极921。该情况下，也可仅对与利用基于图案图像的检查而检测到缺陷的位置连接的金属电极921进行导通检查。
[0115]所述图像获取装置1及观察支持装置4中可进行各种变形。
[0116]也可将基于图案图像的检查结果从外部的图案检查装置或图像获取装置1实现的图案检查部，输入到观察支持装置4。该情况下，表示缺陷的位置的该检查结果作为指定位置的输入而由输入受理部41受理。如此，指定位置的输入也未必需要由作业人员进行。
[0117]观察支持装置4也可用于支持对表示电极图案以外的具有周期性的图案的图像进行观察。即，观察支持装置4可用于支持对表示基材上的图案的图像进行观察，所述基材具有周期性地排列的多个各种元件(存储单元、受光元件等)、及将元件间加以连接的多个配线。
[0118]所述实施方式及各变形例的构成只要不相互矛盾则可进行适当组合。
【主权项】
1.一种观察支持装置，用于支持对表示具有周期性的图案的图像的观察，其特征在于包括: 存储部，存储表示基材上的图案的图案图像，所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线； 显示部，显示图像； 输入受理部，受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入； 区域特定部，将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域；以及 显示控制部，识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于所述显示部。2.根据权利要求1所述的观察支持装置，其特征在于: 所述多个元件为多个电极， 所述多个电极包括在所述图案图像中亮度不同的多个第一电极及多个第二电极， 所述特定区域包括表示第一电极的区域及表示第二电极的区域。3.根据权利要求1或2所述的观察支持装置，其特征在于: 所述指定位置表示所述图案中的缺陷的位置、或与所述缺陷有关的电极的位置。4.根据权利要求1或2所述的观察支持装置，其特征在于: 在所述输入受理部中受理指示所述显示部中显示的所述图案图像的放大显示或缩小显示的输入， 所述显示控制部识别所述特定区域，并且使经放大或缩小的所述图案图像再次显示于所述显示部。5.一种观察支持方法，用于支持对表示具有周期性的图案的图像的观察，其特征在于包括下述步骤: 准备表示基材上的图案的图案图像，所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线； 受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入； 将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域；以及 识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部。6.根据权利要求5所述的观察支持方法，其特征在于: 所述多个元件为多个电极， 所述多个电极包括在所述图案图像中亮度不同的多个第一电极及多个第二电极， 所述特定区域包括表示第一电极的区域及表示第二电极的区域。7.根据权利要求5或6所述的观察支持方法，其特征在于: 所述指定位置表示所述图案中的缺陷的位置、或与所述缺陷有关的电极的位置。8.根据权利要求5或6所述的观察支持方法，其特征在于还包括下述步骤: 受理指示所述显示部中显示的所述图案图像的放大显示或缩小显示的输入； 识别所述特定区域，并且可使经放大或缩小的所述图案图像再次显示于所述显示部。9.一种观察支持系统，用于支持对表示具有周期性的图案的图像的观察，其特征在于，所述观察支持系统包括: 准备表示基材上的图案的图案图像，所述基材具有周期性地排列的多个元件、及将元件间加以连接的多个配线的模块； 受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入的模块； 将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域的模块；以及 识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部的模块。
【专利摘要】本发明提供一种观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统。观察支持方法包括：准备表示基材上的图案的图案图像，所述基材具有周期性地排列的多个组件、及将组件间加以连接的多个配线；受理将所述图案图像的表示所述图案的图案区域中的一个位置指定为指定位置的输入；将所述图案区域中与所述指定位置相连的区域特定为特定区域；以及能够识别所述特定区域并且使所述图案图像显示于显示部。由此，能够使作业人员容易识别图案区域中与指定位置相连的区域，从而可适当支持作业人员对图案图像的观察。
【IPC分类】G01N21/892
【公开号】CN105466948
【申请号】CN201510434981
【发明人】藤原成章
【申请人】斯克林集团公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年7月22日