观察支持装置、观察支持方法及观察支持系统的制作方法_2

文档序号:9706764阅读:来源:国知局
的制造中。
[0089]图像获取装置1包括使基材9移动的移动机构11、拍摄单元13及计算机3。移动机构11包括:平台21,将基材9保持于上表面上;Χ方向移动部22,使平台21朝向与基材9的主面平行的图1中的X方向移动;以及Υ方向移动部23,使X方向移动部22朝向与基材9的主面平行且与X方向垂直的Υ方向移动。移动机构11为使基材9相对于后述的拍摄区域90相对地移动的机构。另外,使平台21向与X方向及Υ方向垂直的图1中的Ζ方向移动的机构、或使平台21以与Ζ方向平行的轴为中心而转动的机构,也可追加到移动机构11中。图像获取装置1中,计算机3作为承担图像获取装置1的整体控制的整体控制部而发挥作用。
[0090]拍摄单元13包括:朝向基材9上的拍摄区域90出射光的光照射部131,接收来自拍摄区域90的反射光的线传感器132,以及变更光照射部131的光的照射角及线传感器132的检测角的角度变更机构133。此处,照射角是从光照射部131到拍摄区域90的光轴J1与基材9的法线N所成的角Θ 1。检测角是从拍摄区域90到线传感器132的光轴J2与法线N所成的角Θ2。
[0091]光照射部131出射对于透明导电膜具有透过性的波长的光。光至少被照射到线状的拍摄区域90。光照射部131包括沿X方向排列的多个发光二极管(Light emittingd1de,LED)、及将来自LED的光均匀化并导向沿X方向延伸的拍摄区域90的光学系统。线传感器132包括一维拍摄元件、及将拍摄区域90与拍摄元件的受光面光学共轭的光学系统。另外,自动对焦机构也可设置于拍摄单元13,所述自动对焦机构使光照射部131、线传感器132及角度变更机构133在基材9的法线N的方向上一体移动。
[0092]在获取后述的拍摄图像时,基材9利用移动机构11而沿与拍摄区域90交叉的方向移动。即,移动机构11为使基材9相对于拍摄区域90相对地移动的机构。与基材9的移动并行地,利用线传感器132而高速地反复获取线状的拍摄区域90的线图像,从而获取二维拍摄图像。本实施方式中,基材9在与拍摄区域90垂直的Y方向上移动,但拍摄区域90也可相对于移动方向倾斜。
[0093]角度变更机构133 —边将照射角θ 1与检测角Θ 2维持为相等,一边变更照射角Θ1及检测角Θ2。因此,以下的说明中的检测角的大小也为照射角的大小,照射角的大小也为检测角的大小。光照射部131及线传感器132经由角度变更机构133而支撑于底壁134。底壁134为与Y方向及Z方向平行的板构件。
[0094]底壁134上设置着以拍摄区域90为中心的圆弧状的第一开口 201及第二开口202。角度变更机构133包括用以使光照射部131沿着第一开口 201移动的电动机135以及引导部、齿条及齿轮(省略图示),还具有用以使线传感器132沿着第二开口 202移动的电动机136、以及引导部、齿条及齿轮(图示省略)。
[0095]图2是表示计算机3的构成的图。计算机3为普通的计算机系统的构成,该计算机包含进行各种运算处理的中央处理器(Central processing unit,CPU) 31、存储基本程序的只读存储器(read-only memory, ROM) 32及存储各种信息的随机存取存储器(RandomAccess Memory,RAM) 33。计算机3还包括进行信息存储的固定磁盘34,进行图像等各种信息的显示的显示部即显示器35,受理来自作业人员的输入的键盘36a及鼠标36b (以下统称为“输入部36”),从光盘、磁盘、光磁盘等计算机可读取的记录媒体30进行信息的读取的读取装置37,以及与图像获取装置1的其他构成之间收发信号的通信部38。
[0096]计算机3中,预先经由读取装置37从记录媒体30读出程序300并存储于固定磁盘34中。CPU 31依据程序300利用RAM 33或固定磁盘34且执行运算处理,而实现后述的功能。
[0097]图3是表示计算机3实现的功能构成的方块图。图3的运算部40及存储部49为由计算机3的CPU 3UR0M 32,RAM 33、固定磁盘34等实现的功能构成。运算部40具有输入受理部41、区域特定部42及显示控制部43。存储部49存储利用后述的处理而获取的图案图像数据491。图像获取装置1中利用输入受理部41、区域特定部42、显示控制部43、存储部49、显示器35及输入部36而实现对图像的观察进行支持的观察支持装置4。关于观察支持装置4的详情将于以后进行叙述。另外,运算部40的功能可由专用的电子电路来构筑,也可局部地利用专用的电子电路。
[0098]图4是表示基材9的主面上的图案的图。基材9用于静电电容型的触摸屏的制造,在主面上二维地周期性地排列着由透明导电膜形成的多个相同形状的电极911 (以下称作“透明电极911”)。透明电极911间利用配线912(以下称作“透明配线912”)连接,所述配线912由透明导电膜形成并且比透明电极911细。图4的例中,4个透明电极911利用1个透明配线912而连接。透明电极911为用以对触摸屏上的静电电容的变化进行检测的元件。
[0099]而且,在主面上排列着多个透明电极911的区域的外侧,由金属膜形成的多个相同形状的电极921 (以下称作“金属电极921”)例如周期性地排列成一排。各金属电极921上连接着由金属膜形成并且比金属电极921细的配线922(以下称作“金属配线922”)的一端。金属配线922的另一端连接于透明配线912。实际上,一对金属电极921之间,多个透明电极911经由金属配线922及透明配线912而电连接。这样,金属电极921为用以经由金属配线922及透明配线912对多个透明电极911供给电气的元件。在配置着多个透明电极911的区域(图4中附上符号A1的虚线的矩形区域)的周围,视需要而形成着不使可见光透过的材料的膜。利用该膜,使得从基材9的一主面侧无法视觉辨认出金属电极921及金属配线922。图4中,将基材9上的图案简化来表示,但实际上设置着多个电极及多个配线(以下相同)。
[0100]如已述般,利用图像获取装置1获取基材9上的图案的图像,然后,在作业人员观察该图像时,对图像的观察进行支持。以下,对图案的图像的获取进行说明,然后对图像的观察的支持进行说明。
[0101]图5是表示获取基材9上的图案的图像的动作的流程的图。首先,准备应获取图像的基材9,并载置于图1的平台21上(步骤S11)。应获取图像的基材9包括例如在导通检查中确认导通不良的一对金属电极921 (电阻值比规定的阈值高的一对金属电极)。
[0102]图像获取装置1中,针对基材9上的每种膜结构(膜的种类与厚度的组合)来预先求出照射角及检测角的角度,所述照射角及检测角的角度能够提高拍摄图像中表示透明导电膜的图案(即,透明电极911及透明配线912)的区域(以下称作“透明图案区域”)的对比度。将除透明图案区域及表示金属膜的图案的区域外的区域作为背景区域,透明图案区域的对比度为拍摄图像中的透明图案区域与背景区域之间的亮度之差(灰度值之差的绝对值)。计算机3中,根据平台21上的基材9的膜结构,来特定照射角及检测角所应设定的角度(以下称作“设定角度”),并对角度变更机构133进行控制,由此照射角及检测角成为该设定角度(步骤S12)。
[0103]然后,开始从光照射部131出射光,以基材9上的应拍摄的位置通过拍摄区域90的方式,利用移动机构11使基材9在Y方向上连续地移动。与基材9的移动并行地,线传感器132中,高速地重复获取线状的拍摄区域90的线图像。由此,获取表示基材9上的图案的二维拍摄图像(以下称作“图案图像”),并作为图案图像数据491而由图3的存储部49存储(步骤S13)。如以上般,利用图5的步骤S11?步骤S13的处理,准备由作业人员观察的图案图像。
[0104]图6是表示图案图像的图。图6中,各区域所附的平行斜线的宽度越窄,表示该区域的亮度(光亮度值的平均值)越低。图案图像中,表示金属电极921的区域821(以下称作“金属电极区域821”)及表示金属配线922的区域822(以下称作“金属配线区域822”)的亮度最高。表示透明电极911的区域811(以下称作“透明电极区域811”)及表示透明配线912的区域812 (以下称作“透明配线区域812”)的亮度比金属电极区域821及金属配线区域822的亮度低,比作为非图案区域的背景区域的亮度高。以下的说明中,将图案图像中表示金属电极区域821、金属配线区域822、透明电极区域811及透明配线区域812的区域,即,表示图案的区域统称作“图案区域80”。
[0105]图7是表示观察支持装置4对图像的观察进行支持的动作的流程的图。首先,观察支持装置4中,准备用以供作业人员观察的图案图像(步骤S20)。本实施方式中,利用图5的动作预先获取图案图像,并作为图案图像数据491而存储于存储部49中。图案图像利用显示控制部43而显示于显示器35 (步骤S21)。
[0106]如已述般,导通检查中,特定了导通不良的一对金属电极921,例如由作业人员利用鼠标36b的点击来指定显示于
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