技术编号：9188380
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。太阳能电池是将太阳能直接转化成电能，并且在使用过程中不会产生任何有害物质，是一种环保无污染产品，因此，太阳能电池在解决能源与环境问题方面倍受青睐，有着极好的市场前景。在太阳能电池生产工艺中刻蚀能有效地去除扩散后硅片四周的N型硅，防止漏电，从而提高电池的转换效率。目前，晶体硅太阳电池一般采用干法和湿法两种刻蚀方法，而湿法刻蚀能明显提高电池转换效率提高产品质量。现在湿法刻蚀的生产设备主要有KUTTLER和RENA。但KUTTLER工艺步骤中，第一步是去除硅片表...
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