技术编号:9201703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体器件用于多种电子应用中,诸如个人电脑、手机、数码相机和其他电子设备。通常,通过在半导体衬底上方依次沉积绝缘或介电层、导电层和半导体材料层,并且使用光刻图案化各个材料层以在其上形成电路部件和元件,从而制造半导体器件。通过不断缩小最小部件的尺寸以允许更多的部件集成到给定的区域内,使半导体工业持续的改进各个电子部件(例如,晶体管、二极管、电阻器、电容器等)的集成度。在半导体技术中,最近开发出了多栅极鳍式场效应晶体管(MuGFET),通常,MuGFET是将多...
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