技术编号:9209888
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,通常采用搬送小车来将基板搬送至真空镀膜室内以进行后续镀膜作业,但搬送小车会因为损坏、陈旧或其他一些设备问题而需要更替或换用。此时,由于每辆搬送小车的零件在加工和组装时的误差不同,因此小车的搬送精度也就带来了一定的偏差,该偏差会对后续设备的运行产生不良影响,容易造成设备过载报警及硬件损伤,大大降低了设备自动化效率。发明内容本发明的目的是根据上述现有技术的不足,提供了,通过对基板搬送小车的前后位置进行检测并依此对基板搬送位置进行补偿,从而解决搬送小车共用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。