一种解决基板搬送小车通用性的控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种解决基板搬送小车通用性的控制方法。
【背景技术】
[0002]目前，通常采用搬送小车来将基板搬送至真空镀膜室内以进行后续镀膜作业，但搬送小车会因为损坏、陈旧或其他一些设备问题而需要更替或换用。此时，由于每辆搬送小车的零件在加工和组装时的误差不同，因此小车的搬送精度也就带来了一定的偏差，该偏差会对后续设备的运行产生不良影响，容易造成设备过载报警及硬件损伤，大大降低了设备自动化效率。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，通过对基板搬送小车的前后位置进行检测并依此对基板搬送位置进行补偿，从而解决搬送小车共用性问题。
[0004]本发明目的实现由以下技术方案完成:
一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，所述基板搬送小车用于将基板搬送到机械臂的抓取位置处，其特征在于:所述控制方法至少包括以下步骤:
在机械臂的抓取位置之前安装光纤传感器，所述光纤传感器用于发出开关量信号至一控制器，所述控制器通过记录所述基板搬送小车从原点位置至所述光纤传感器的安装位置时其马达的坐标变化来计算所述基板搬送小车的行驶距离；
将该距离与所述基板搬送小车的原点位置和所述光纤传感器的安装位置之间的基准距离进行比较，计算差值；
利用所述差值对所述基板搬送小车所搬送的基板的坐标进行补偿修正。
[0005]所述基准距离是通过测量一基准小车与所述光纤传感器的安装位置之间的距离来得到的，所述基准小车是指一符合设计图纸要求尺寸误差并在当前机台搬送正常的基板搬送小车。
[0006]经补偿修正后的基板坐标对应于所述机械臂的抓取位置。
[0007]所述基板搬送小车在接近所述光纤传感器之前以第一速度运行，经过光纤传感器时以第二速度运行，之后再次以第一速度运行至所述机械臂的抓取位置并返回到所述基板搬送小车的原点位置；所述第一速度大于所述第二速度。
[0008]本发明的优点是:通过对基板搬送小车的前后位置进行检测实现运料小车的共用性，提高搬送位置的准确性，降低搬运故障率，电气设计增加对运料小车前后位置检测，通过软件进行运料小车自动位置补偿并实时更新位置坐标，从而解决运料小车共用性问题，使得新的运料小车位置下更匹配机械臂对位置的要求。能自动修正基板搬送小车的搬送位置，以保证后续设备的正常运行，避免设备过载报警及硬件损伤；提高了设备自动化效率；结构简单合理，实用性强，适于推广。
【附图说明】
[0009]图1为本发明的使用结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解:
如图1所示，图中标记1-6分别为:基板搬送小车1、基板2、基板搬送小车原点3、光纤传感器4、导轨5、机械臂6。
[0011]实施例:本实施例中基板搬送小车控制系统通过对基板搬送小车的前后位置进行检测并依此对基板搬送位置进行补偿。如图1所示，基板搬送小车I可通过驱动装置在导轨5上运行以将其承载的若干基板2搬送到机械臂6的抓取位置处。作为光纤传感器的光纤传感器4安装在位于机械臂6之前，即基板搬送小车I先经过光纤传感器4后再达到机械臂6的抓取位置。
[0012]本实施例的控制方法包括以下步骤:
(I)计算作为基准的基板搬送小车I从基板搬送小车原点3位置到光纤传感器4位置之间的距离，并以坐标形式对其进行记录，并记录保存基准坐标设定值。作为基准的基板搬送小车I符合设计图纸要求尺寸误差，并在当前机台搬送正常。由于本实施例的控制方法是用于解决不同基板搬送小车I由于尺寸误差所引起的共用性问题，因此任意满足符合设计图纸要求并在当前机台搬送正常的基板搬送小车I均可作为基准。
[0013](2)对其他基板搬送小车从基板搬送小车原点3到光纤传感器4的安装位置之间的距离进行测量并记录，同样以坐标形式进行记录，并将当前数据与基准坐标进行比较。基板搬送I的距离测量时通过将光纤传感器4与基板搬送小车I的马达的位置结合实现的；当基板搬送小车I从其原点位置到光纤传感器4的安装位置时，光纤传感器4传送开关量信号给控制器，控制器对当前基板搬送小车I的马达行驶坐标进行记录并与原点位置的基板搬送小车I的马达坐标进行比较，从而计算出基板搬送小车I的行驶距离。
[0014](3)将比较的差值对搬送数据进行自动补偿基板坐标位置，即对基板搬送坐标进行修正，得到实际的基板搬送坐标。经补偿修正后的基板坐标对应于机械臂6的抓取位置，即使得机械臂6能够准确抓取基板搬送小车I上的基板2。
[0015]为提高效率，在基板搬送小车I的偏差检测过程中实现了变速运动，才得以同时满足了对补偿过程的时间要求及对光纤传感器4测量精度的双重要求。具体过程为，利用控制器连接控制基板搬送小车I的驱动装置以对其在导轨5上的运行速度进行调控。例如，基板搬送小车I在接近光纤传感器4之前以50mm/s的第一速度高速运行，经过光纤传感器4时以lmm/s的第二速度低速运行，之后再次以50mm/s的第一速度高速运行至机械臂6的抓取位置并高速返回至基板搬送小车原点3。上述运动过程避免了基板搬送小车I为保证检测精度而以单一低速运行的弊病，同时实现了本实施例对时间和测量精度的双重要求。基板搬送小车第一速度和第二速度都是根据小车本身的性能以及实际工作中的各因素所进行的选择；在使用时，第一速度应大于第二速度，但两者的具体取值可根据实际设计进行选择。
[0016]本实施例在具体实施时，具有以下步骤:
(I)在搬送开始前，对光纤传感器4与基板搬送小车I的前端面之间距离进行两次检测并记录检测值。
[0017](2)两次检测值之间偏差大于2_时，对光纤传感器4与基板搬送小车I的前端面之间的距离进行重新检测。
[0018](3)对两次检测值求平均值，并与基准值进行比较。
[0019](4)与基准比较的偏差值>5_提出警告，需确认基板搬送小车I是否准确安装在基板搬送小车原点3上。
[0020](5)与基准比较的偏差值<5mm时，将检测值与基准值进行比较，计算得出补偿值。
[0021](6)因为“作为基准的基板搬送小车前端面到光纤传感器4之间的距离”与“作为基准的基板搬送小车上的基板的坐标”之间存在对应关系。因此，利用补偿值对基板搬送小车I上的基板2的坐标进行修正补偿，从而使得机械臂6能够准确抓取基板搬送小车I上的基板2。
[0022]假定作为基准的基板搬送小车的搬送坐标为1300，第一次检测到该基准搬送小车自其原点位置到光纤传感器4的安装位置之间的行驶距离为1700，第二次检测到基准搬送小车自其原点位置到光纤传感器4的安装位置之间的行驶距离为1700。
[0023]若有一台基板搬送小车第一次和第二次检测到自其原点位置到光纤传感器4的安装位置之间的行驶距离为1703，则与基准小车行驶距离之间的差值为+3，则该台基板搬送小车的搬送坐标为1300+3。修正后的搬送坐标对应于机械臂6的抓取位置，使机械臂6可以准确抓取基板搬送小车上的基板。
[0024]虽然以上实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本发明作出各种改进和变换，如:用于7光纤传感器的种类、基板搬送小车I的结构、大小等，故在此不--赘述。
【主权项】
1.一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，所述基板搬送小车用于将基板搬送到机械臂的抓取位置处，其特征在于:所述控制方法至少包括以下步骤: 在机械臂的抓取位置之前安装光纤传感器，所述光纤传感器用于发出开关量信号至一控制器，所述控制器通过记录所述基板搬送小车从原点位置至所述光纤传感器的安装位置时其马达的坐标变化来计算所述基板搬送小车的行驶距离；将该距离与所述基板搬送小车的原点位置和所述光纤传感器的安装位置之间的基准距离进行比较，计算差值；利用所述差值对所述基板搬送小车所搬送的基板的坐标进行补偿修正。2.根据权利要求1所述的一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，其特征在于:所述基准距离是通过测量一基准小车与所述光纤传感器的安装位置之间的距离来得到的，所述基准小车是指一符合设计图纸要求尺寸误差并在当前机台搬送正常的基板搬送小车。3.根据权利要求1所述的一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，其特征在于:经补偿修正后的基板坐标对应于所述机械臂的抓取位置。4.根据权利要求1所述的一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，其特征在于:所述基板搬送小车在接近所述光纤传感器之前以第一速度运行，经过光纤传感器时以第二速度运行，之后再次以第一速度运行至所述机械臂的抓取位置并返回到所述基板搬送小车的原点位置；所述第一速度大于所述第二速度。
【专利摘要】本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种解决基板搬送小车通用性的控制方法，其特征在于：所述控制方法至少包括以下步骤：在机械臂的抓取位置之前安装光纤传感器，所述光纤传感器测量所述基板搬送小车的原点位置与其安装位置之间的距离；将该距离与所述基板搬送小车的原点位置和所述光纤传感器的安装位置之间的基准距离进行比较，计算差值；利用所述差值对所述基板搬送小车所搬送的基板的坐标进行补偿修正。本发明的优点是：通过对基板搬送小车的前后位置进行检测实现运料小车的共用性，提高搬送位置的准确性，降低搬运故障率，电气设计增加对运料小车前后位置检测，通过软件进行运料小车自动位置补偿并实时更新位置坐标，解决运料小车共用性问题。
【IPC分类】B65G43/00, B65G35/00, B65G49/06
【公开号】CN104925473
【申请号】CN201510283840
【发明人】王德智, 余正权, 余海春, 张奇, 展大伟
【申请人】光驰科技(上海)有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年5月29日