技术编号：9218549
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，半导体制备流程中常用的美国泛林公司(Lam)生产的Lam9400DFM型和Lam9600DFM型反应腔,在闸阀(gate valve)关闭的时候会负载制动(load lock),由于制动力非常大，会对反应腔造成振动。并且如果其他反应腔正在进行工艺过程中，其很容易会由于振动而导致反应腔压力变化，并导致工艺停止。发明内容本发明提供一种减小闸阀开闭时振动的反应腔及机台，可减小闸阀开闭时对反应腔及其所在机台造成的振动。为实现上述目的，本发明提供一种减小闸阀开...
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