减小闸阀开闭时振动的反应腔及机台的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体制备工艺的设备，具体涉及一种减小闸阀开闭时振动的反应腔及机台。
【背景技术】
[0002]目前，半导体制备流程中常用的美国泛林公司(Lam)生产的Lam9400DFM型和Lam9600DFM型反应腔,在闸阀(gate valve)关闭的时候会负载制动(load lock),由于制动力非常大，会对反应腔造成振动。并且如果其他反应腔正在进行工艺过程中，其很容易会由于振动而导致反应腔压力变化，并导致工艺停止。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种减小闸阀开闭时振动的反应腔及机台，可减小闸阀开闭时对反应腔及其所在机台造成的振动。
[0004]为实现上述目的，本发明提供一种减小闸阀开闭时振动的反应腔，该反应腔与其它腔室的连接口处设有闸阀，所述闸阀的开闭为气动控制，其设有用于控制该闸阀打开的第一气路和用于控制闸阀关闭的第二气路；其特点是，
上述闸阀的第一气路和第二气路上分别设有控制气体流量的针阀，延长闸阀开闭时间。
[0005]上述第一气路上设有气压计，实时检测控制闸阀打开的气路的气压。
[0006]上述气压计采用数字压力计。
[0007]控制上述闸阀开闭的气路内传输清洁干燥的压缩空气。
[0008]上述反应腔通过闸阀连接传输腔。
[0009]一种半导体制备机台，其特点是，该机台设有上述的反应腔。
[0010]本发明减小闸阀开闭时振动的反应腔及机台和现有技术的半导体反应腔相比，其优点在于，本发明中控制闸阀开闭的气路加设针阀，调节控制闸阀开闭气路的气体流量，控制闸阀的开闭速度，用来延长闸阀的开闭时间，可从小于I秒延长至3秒，从而减少闸阀开闭做造成的振动，保证机台上其他腔室的正常工作；
本发明中控制闸阀打开的气路上设有压力计，可实时检测控制闸阀打开的气路内的气体压力，由操作人员实时勘察，保证闸阀正常工作。
【附图说明】
[0011]图1为本发明减小闸阀开闭时振动的反应腔的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]以下结合附图，进一步说明本发明的具体实施例。
[0013]如图1所示，本发明公开一种实现减小闸阀开闭时振动的反应腔，其包含有用于制备半导体器件的反应腔1，该反应腔I与其它腔室的连接口处设有闸阀(gate value) 2。本实施例中，闸阀2设置在反应腔I与传输腔3之间的连接口处。
[0014]该闸阀2的开闭为气动控制，其设有用于控制该闸阀2打开的第一气路5和用于控制闸阀2关闭的第二气路6。该第一气路5和第二气路6中传输的气体为清洁干燥的压缩空气(CDA)。
[0015]闸阀2的第一气路5和第二气路6上分别设有控制气体流量的针阀4，该针阀4可用于调节第一气路5和第二气路6的气体流速和流量，从而控制闸阀进行开闭操作的动作时间，此处为了降低闸阀开闭所造成的振动，即通过针阀4延长闸阀2的开闭时间，实现将闸阀开闭时间从小于I秒延长至大约3秒。
[0016]第一气路5上设有气压计7，用于实时检测控制闸阀打开的气路内清洁干燥的压缩空气(CDA)的气压。该气压计采用数字压力计(digital pressure gauge),可实时检测控制闸阀打开的气路内的气体压力，由操作人员实时勘察，保证闸阀正常工作。
[0017]本发明还公开了一种半导体制备机台，该机台设有以上所描述的减小闸阀开闭时振动的反应腔。
[0018]尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
【主权项】
1.一种减小闸阀开闭时振动的反应腔，该反应腔与其它腔室的连接口处设有闸阀，所述闸阀的开闭为气动控制，其设有用于控制该闸阀打开的第一气路和用于控制闸阀关闭的第二气路；其特征在于， 所述闸阀的第一气路和第二气路上分别设有控制气体流量的针阀，延长闸阀开闭时间。2.如权利要求1所述的减小闸阀开闭时振动的反应腔，其特征在于，所述第一气路上设有气压计，实时检测控制闸阀打开的气路的气压。3.如权利要求2所述的减小闸阀开闭时振动的反应腔，其特征在于，所述气压计采用数字压力计。4.如权利要求1所述的减小闸阀开闭时振动的反应腔，其特征在于，控制所述闸阀开闭的气路内传输清洁干燥的压缩空气。5.如权利要求1所述的减小闸阀开闭时振动的反应腔，其特征在于，所述反应腔通过闸阀连接传输腔。6.一种半导体制备机台，其特征在于，该机台设有如权利要求1至5中任意一项权利要求所述的反应腔。
【专利摘要】本发明公开一种减小闸阀开闭时振动的反应腔，该反应腔与其它腔室的连接口处设有闸阀，所述闸阀的开闭为气动控制，其设有用于控制该闸阀打开的第一气路和用于控制闸阀关闭的第二气路；闸阀的第一气路和第二气路上分别设有控制气体流量的针阀，延长闸阀开闭时间。本发明中控制闸阀开闭的气路加设针阀，调节控制闸阀开闭气路的气体流量，控制闸阀的开闭速度，用来延长闸阀的开闭时间，可从小于1秒延长至3秒，从而减少闸阀开闭做造成的振动，保证机台上其他腔室的正常工作。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN104934343
【申请号】CN201410099788
【发明人】张军, 包中诚
【申请人】上海华虹宏力半导体制造有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2014年3月18日