高性能的鳍式场效应晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:9218678

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传统场效应晶体管(FET)为基本平面型器件,具有跨例如单晶硅的半导体的表面而延伸的栅极结构,以及在栅极两侧上的半导体中的掺杂的源极区和漏极区。栅极通过例如氧化硅的薄层绝缘体与半导体绝缘。施加到栅极的电压控制在栅极下半导体中的、延伸于掺杂的源极区和漏极区之间的未掺杂的沟道中的电流流动。FET的开关速度取决于在源极区和漏极区之间的电流流动量。电流流动取决于栅极的宽度,其中宽度是沟道中垂直于电流流动方向的方向。随着对应用在通信和计算机设备中的更高速度晶体管的不断...
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