技术编号：9234809
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体工艺过程中，一个工艺过程(Process)是由一定个数的工艺步骤(step)组成的，每一步都会根据需要指定结束的条件，这种条件有几种类型，我们称之为终点类型，比如以一定时间为结束标准的为时间终点类型。随着工艺过程越来越复杂，对终点类型的要求也越来越多，其中在某些工艺加工中，一些工艺步骤的工艺作用是让所设置的参数达到稳定后便结束，在这种类型的工艺步骤中，需要所有的相关参数都达到稳定。对于此种工艺步骤，传统技术中采用时间终点类型，凭借经验设定一个较为安...
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