技术编号：9260883
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前在芯片生产过程中，芯片显影、定影全靠手工操作，而在目前市场竞争全球化，开发周期不断缩短，半导体元器件需求量急速扩张的情况下，手工操作不仅操作时间长易导致疲劳、操作一致性差，使得芯片生产的速率低下，而且手工操作过程中容易出现芯片漏显，使得次品率较高。发明内容本发明的目的在于针对现有技术中芯片显影、定影采用手工操作时间长易导致疲劳、手动操作多导致操作一致性差，漏显等问题，提供一种采用机器半自动化的生产替代原有手工操作，使芯片生产速率明显提高次品率明显降低的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。