导引机构及其制程设备的制造方法技术资料下载

技术编号:9298253

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阳00引一般的LCD玻璃基板、印刷电路板、太阳能基板等板件在进行化学制程时,都必须 利用板件输送机将板件输送进入机体内,W配合化学药水进行冲洗。为了确保板件输送的 平稳与不偏位,化学制程的机体内部均设有用来引导板件的导引装置。所述导引装置的形 态有多种。其中一种是将板件输送机设计成倾斜状态,并在板件输送机的低端设置系列边 导轮,如中国台湾专利M327082「板件输送机的边导轮」。在上述板件输送机中,板件被放置 于倾斜的板件输送机上的复数输送滚轮上,而后受...
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