导引机构及其制程设备的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明关于一种导引机构及其制程设备，特别是导引板件沿输送方向移动。
【背景技术】 阳00引一般的LCD玻璃基板、印刷电路板、太阳能基板等板件在进行化学制程时，都必须 利用板件输送机将板件输送进入机体内，W配合化学药水进行冲洗。为了确保板件输送的 平稳与不偏位，化学制程的机体内部均设有用来引导板件的导引装置。所述导引装置的形 态有多种。其中一种是将板件输送机设计成倾斜状态，并在板件输送机的低端设置系列边 导轮，如中国台湾专利M327082「板件输送机的边导轮」。在上述板件输送机中，板件被放置 于倾斜的板件输送机上的复数输送滚轮上，而后受动力驱动旋转的输送滚轮将板件输送平 移时，板件通过重力作用会自然地下滑至倾斜板件输送机的低端，并靠置于边导轮。边导轮 为可自由旋转的设计，W导引板件沿着输送方向移动。另一种导引装置则在板件输送机的 输送方向两侧分别设置一导边板，同样可导引板件沿着输送方向移动。
[0003] 然而，当板件输送机输送不同宽度的板件时，则上述板件输送机两侧的导边轮或 导边板需被一一精密调整位置W符合板件的宽度。如此，板件输送机中导边轮或导边板的 位置调整工作，将耗用人力成本与时间成本，并延迟板件制程而降低板件的整体生产效率。
【发明内容】
[0004] 本发明的主要目的，在于提供一种导引机构及其制程设备。 阳〇化]本发明的另一目的在于提供一种制程设备。
[0006] 为了达到上述目的，本发明提供了一种导引机构，用W在一制程设备中导引至少 一板件沿一输送方向移动，其中该板件具有相对应的一第一表面与一第二表面，该导引机 构包含： 复数个输送滚轮，分别沿该输送方向依序排列，用W接触该板件的该第一表面； 复数个导引压轮，分别沿该输送方向依序排列，用W接触该板件的该第二表面，每一导 引压轮具有一轮轴与至少一轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用W接触该板件的该第二表面， 其中该轴套的硬度值介于C硬度值（C-Har化ess) 7至11，该轴套的摩擦系数介于0. 3至 0. 5,且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度； 其中，该输送滚轮与该导引压轮用W夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的 转动，导引该板件沿该输送方向移动。
[0007] 进一步地，其中每一输送滚轮具有复数个凸块，该凸块沿该输送滚轮的轴向依序 分别设置在该输送滚轮上。
[0008] 进一步地，其中每一输送滚轮具有一输送轮轴与至少一输送轴套，该输送轴套的 硬度值介于C硬度值（C-Har化ess) 7至11，该输送轴套的摩擦系数介于0. 3至0. 5。
[0009] 进一步地，其中该输送轴套沿着该输送轮轴的轴向延伸，并套设于该输送轮轴的 外表面。
[0010] 进一步地，其中该输送轴套的内、外径间的距离大于或等于该板件的厚度加2mm 之和。
[0011] 进一步地，其中该轮轴与该轴套之间设有一环状沟槽或一环状凸缘，用W使该轴 套定位于该轮轴上。
[0012] 进一步地，其中每一导引压轮具有复数个该轴套，且该轴套沿该轮轴的轴向依序 分别设置在该轮轴上。
[0013] 进一步地，其中该轴套间相互连接而形成一体。
[0014] 进一步地，其中每一输送滚轮具有复数个凸块，且该轴套与该凸块呈现相对或相 互间隔交错。
[0015] 进一步地，其中该轴套的平均气孔径介于15ym至30ym。
[0016] 进一步地，其中该轴套的宽度大于或等于该轴套内、外径间的厚度。
[0017] 进一步地，其中该轴套内、外径间的距离大于或等于该板件的厚度加2mm之和。
[0018] 本发明还提供一种制程设备，用W沿一输送方向输送至少一板件，其中该板件具 有相对应的一第一表面与一第二表面，该制程设备包括： 一基座；W及 一导引机构，设于该基座上，该导引机构包含复数个输送滚轮与复数个导引压轮： 该输送滚轮分别沿该输送方向依序排列，用W接触该板件的该第一表面； 该导引压轮分别沿该输送方向依序排列，用W接触该板件的该第二表面，该第二表面 相对于该第一表面，每一导引压轮具有一轮轴与至少一轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用W 接触该板件的该第二表面，其中该轴套的硬度值介于C硬度值（C-Har化ess) 7至11，该轴套 的摩擦系数介于0. 3至0. 5,且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度； 其中，该输送滚轮与该导引压轮用W夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的 转动，导引该板件沿该输送方向移动。
[0019] 进一步地，其中该基座具有二个间隔相对的隔板，该导引机构的输送滚轮与导引 压轮即枢设于二个该隔板之间。
[0020] 进一步地，其包括一动力源，该动力源驱动该导引压轮且/或该输送滚轮转动。
[0021] 进一步地，其包括一刀具，设于该输送方向初始位置，用W对该板件清洗或涂布药 液。
[0022] 进一步地，其包括复数个喷洒装置，分别沿该输送方向依序间隔排列，用W对该板 件喷洒药液或清洁液。
[0023] 本发明当导引压轮压于板件的第二表面时，通过轴套的硬度值介于C硬度值7至 11，可减少板件的第二表面上产生变形、刮毁或破裂的情况，并通过轴套的摩擦系数介于 0. 3至0. 5,可减少板件在输送的过程中偏移或脱离预期的输送路径。
[0024] 在轴套的硬度低于或等于输送滚轮的硬度的情况下，使板件在输送时，减少因输 送滚轮过软而使下压变形量过大，造成引压轮压无法接触板件、或是引压轮压接触板件时 所提供的下压力与摩擦力不足，而导致板件偏移等问题。
[00巧]导引压轮的轴套与输送滚轮的凸块可呈现相对的设置，板件同一位置的上下板面 分别受到轴套与凸块上、下分别接触，如此可对板件提供较稳定地动作路径的输送动作。
【附图说明】
[0026]图1本发明导引机构第一实施例的立体示意图。
[0027] 图2本发明导引机构第一实施例导引压轮与输送滚轮的分解示意图。
[0028]图3本发明导引机构第一实施例导引压轮与输送滚轮的前视示意图。
[0029] 图4本发明导引机构第一实施例导引压轮与输送滚轮输送板件的前视示意图。
[0030]图5本发明导引机构第二实施例导引压轮与输送滚轮的前视示意图。
[0031] 图6本发明导引机构第=实施例导引压轮与输送滚轮的前视示意图。
[0032]图7本发明导引机构第四实施例的立体示意图。
[0033] 图8本发明导引机构第四实施例导引压轮与输送滚轮的分解示意图。
[0034]图9本发明导引机构第四实施例导引压轮与输送滚轮的前视示意图。
[0035] 图10本发明导引机构第四实施例导引压轮与输送滚轮输送板件的前视示意图。
[0036]图11本发明导引机构第五实施例的立体示意图。
[0037] 图12本发明导引机构第五实施例导引压轮与输送滚轮的分解示意图。
[0038]图13本发明导引机构第五实施例导引压轮与输送滚轮的前视示意图。
[0039] 图14本发明导引机构第五实施例导引压轮与输送滚轮输送板件的前视示意图。
[0040] 图15本发明制程设备根据导引机构第四实施例的立体示意图。
[0041] 图16本发明制程设备根据导引机构第四实施例的侧面示意图。
[0042] 图17本发明制程设备根据导引机构第五实施例的立体示意图。
[0043] 图18本发明制程设备根据导引机构第五实施例的侧面示意图。
[0044] 图中，1导引压轮 10 轮轴 11 轴套 12 环状凸缘 13 环状沟槽 2 输送滚轮 20 输送轮轴 21 输送轴套 22 凸块 3 板件 4 基座 40 隔板 41 刀具 42 喷洒装置 A 制程设备。
【具体实施方式】
[0045] 下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，W使本领域的技术人员可W 更好的理解本发明并能予W实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
[0046] 请参阅图1、图2与图3。图1为本发明导引机构第一实施例的立体示意图。图2 为本发明导引机构第一实施例导引压轮与输送滚轮的分解示意图。图3为本发明导引机构 第一实施例导引压轮与输送滚轮的前视示意图。本发明提供一种导引机构，用W在一制程 设备中导引至少一板件3沿一输送方向P移动。导引机构包含复数导引压轮1与复数输送 滚轮2。
[0047] 输送滚轮2分别沿输送方向P依序排列，用W接触板件3的一第一表面（下板面）， 即如图4所示。其中每一输送滚轮2略呈圆柱状。
[0048] 在本实施例中，每一输送滚轮2具有一输送轮轴20与至少一输送轴套21。此外， 每一输送滚轮2可具有复数凸块22。凸块22沿输送滚轮2的轴向依序分别设置在输送滚 轮2上。进一步来说，凸块22位于输送轴套21的外表面。而输送轴套21沿着输送轮轴20 的轴向延伸，并套设于输送轮轴20的外表面。 W例导引压轮1分别沿输送方向P依序排列，用W接触板件3的一第二表面（上板面）， 即如图4所示。第二表面相对于第一表面。每一导引压轮1略呈圆柱状且具有一轮轴10 与至少一轴套11。轴套11凸设于轮轴10上，用W接触板件3的第二表面。其中轴套11的 硬度值介于C硬度值（C-Har化ess) 7至11，轴套11的摩擦系数介于0. 3至0. 5,且轴套11 的硬度低于或等于输送滚轮2的硬度。而在轴套11的硬度等于输送滚轮2的硬度的情况 下，输送滚轮2的输送轮轴20的硬度值亦介于C硬度值（C-Har化ess) 7至11，输送轮轴20 的摩擦系数也介于0. 3至0. 5。此外，轴套11的平均气孔径可进一步介于15ym至30ym。 轴套11的材质可由PU谏氨醋）与/或PVA谏乙締醇）所构成，W兼具抗腐蚀性。
[0050] 当导引压轮1压于板件3的第二表面时，通过轴套11的硬度值介于C硬度值7至 11，可减少板件3的第二表面上产生变形、刮毁或破裂的情况。同时通过轴套11的摩擦系 数介于0. 3至0. 5,可减少板件3在输送的过程中偏移或脱离预期的输送路径。而在轴套 11的硬度低于或等于输送滚轮2的硬度的情况下，使板件3在输送时，减少因输送滚轮2过 软而使下压变形量过大，造成引压轮压1无法接触板件3、或是引压轮压1接触板件3时所