提供的下压力与摩擦力不足，而导致板件3偏移等问题。另外，通过轴套11的平均气孔径 介于15 y m至30 y m，也可进一步减少因轴套11沾附粉尘（particle)而对板件3造成重复 污染的情况。
[0051] 在本实施例中，每一导引压轮1具有复数轴套11，且轴套11沿轮轴10的轴向依序 分别设置在轮轴10上。更进一步地，轴套11间还可W相互连接而形成一体。
[0052] 导引压轮1包括但不限于运用在W下制程设备中：清洗机（Cleaner)、蚀刻机 巧tcher)、剥膜机（Stripper)、显影机值eveloper)。此外，导引压轮1包括但不限于运用 在W下制程：〇neGlassSolution(0G巧制程、TouchonLens(T0L)制程、CoverGlass (贿制程。
[005引如图4所示，导引压轮1的轴套11与输送滚轮2的凸块22可呈现相对的设置，W通过上、下接触板件3同一位置的方式，即板件3同一位置的第一表面与第二表面（即同一 位置的上下板面）分别受到轴套11与凸块22上、下分别接触，如此可对板件3提供较稳定 地动作路径的输送动作。
[0054]再者，如图5及图6所示，为了使每一导引压轮1的轴套11能被更稳固地定位在 默认的位置上，轮轴10与轴套11之间可设有一环状凸缘12 (即如图5所示)、或一环状沟 槽13 (即如图6所示)，用W使轴套11定位于轮轴10上。同时，轴套11与凸块22也可W 呈现相互间隔交错，用W接触板件3的不同位置。通过轴套11与凸块22相互间隔交错的 结构，使板件3同一位置的第一表面与第二表面（即同一位置的上下板面）不会同时受到 轴套11与凸块22夹压，用W减少板件3上产生变形、刮毁或破裂的情况。
[0055] 而在其它的实施例中，如图7至图10所示，每一导引压轮1的轴套11可W独立设 置于轮轴10上。且为考虑轴套11装设于输轴10上的稳定性，W避免影响导引机构在运作 时因轴套11歪斜而造成板件3输送时偏移等问题，如图8所示。轴套11的宽度W大于或 等于轴套11内、外径间的距离。而轴套11内、外径间的距离即为轴套11的厚度t。又如 图11至图14所示，每一输送滚轮2也可W无需设置前述的凸块22,而其余结构则与前述实 施例相同。每一输送轴套21皆略呈圆柱状，且输送轴套21沿着输送轮轴20的轴向延伸， 并套设该输送轮轴20的外表面。本实施例中，轴套11与输送轴套21的材质可由PU(聚氨 醋）与/或PVA(聚乙締醇）所构成，W兼具抗腐蚀性。
[0056]另外，请参阅图15,图15为本发明制程设备根据导引机构第四实施例的立体示意 图。本发明另外提供一种制程设备A，用W沿一输送方向P输送至少一板件3。制程设备A包 括一基座4、W及一前述的导引机构，导引机构设于基座4上；而在图15所掲露的实施态样 中，导引机构根据导引机构第四实施例为例。此外，制程设备A包括但不限于运用在W下制 程设备中：清洗机（Cleaner)、蚀刻机(^Etcher)、剥膜机（Stripper)、显影机值eveloper)。 又，制程设备A包括但不限于运用在W下制程：化eGlassSolution(0G巧制程、Touchon Lens灯OL)制程、CoverGlass(CG)制程。
[0057] 制程设备A的基座4可具有二间隔相对的隔板40。导引机构的每一导引压轮1与 每一输送滚轮2即枢设于二隔板40之间。制程设备A还可W包含一动力源（图中未示）， 动力源驱动导引压轮1且/或输送滚轮2转动。动力源可W仅驱动导引压轮1转动，或同 时驱动导引压轮1与输送滚轮2转动。亦可制程设备A具有两动力源，其一动力源驱动导 引压轮1转动，另一动力源驱动输送滚轮2转动。此外，再请一并参阅图16所示，制程设备 A还可W包含一刀具41，刀具41设于输送方向P的初始位置，用W对板件3清洗或涂布药 液；也可W包含复数个喷洒装置42,喷洒装置42分别沿输送方向P依序间排列，用W对板 件3清洗或涂布药液。
[0058] 而在其它的实施例中，如图17及图18所示，则分别为本发明制程设备根据导引 机构第五实施例的立体示意图，W及本发明制程设备根据导引机构第五实施例的侧面示意 图，同样可W实施在制程设备A上，而其它导引机构的实施例亦同。另，若板件3的第二表面 (上板面）需进行化学反应，为了减少板件3的第二表面上产生变形、刮毁或破裂的情况，贝U 轴套11的硬度低于或等于输送滚轮2的硬度。更进一步来说，轴套11的硬度低于或等于 凸块22的硬度。通过轴套11的硬度低于输送滚轮2的硬度，减少轴套11施加在板件3的 第二表面上的压力。
[0059] 综上各实施例，输送滚轮2与导引压轮1用W夹置板件3,并通过输送滚轮2与导 弓化轮1的转动，导引板件3沿输送方向P移动。 W60]另外，为减少板件3受到轴套11挤压或压迫而出现变形、刮毁或破裂的情况，建议 可依照下列公式设定轴套11的厚度t: 「板件的厚度T+ 2 ^轴套的厚度t」（单位：mm) 其中，板件3的厚度T即如图7所示；而轴套11的厚度t则与前述图8的定义相同，为 该轴套11内、外径间的距离。而此公式所得到的轴套11厚度t，亦可适用在输送轴套21的 厚度（即输送轴套21内、外径间的距离）上。再进一步W下列表格1内容作为举例：
表格1。
[0061] 值得一提的是：板件3的厚度T在0. 3mm的时候，轴套11的厚度t W 2. 5mm为较 佳。
[0062]W上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范 围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明 的保护范围之内。本发明的保护范围W权利要求书为准。
【主权项】
1. 一种导引机构，用以在一制程设备中导引至少一板件沿一输送方向移动，其中该板 件具有相对应的一第一表面与一第二表面，其特征在于，该导引机构包含： 复数个输送滚轮，分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第一表面； 复数个导引压轮，分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第二表面，每一导 引压轮具有一轮轴与至少一轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用以接触该板件的该第二表面， 其中该轴套的硬度值介于C硬度值（C-Hardness) 7至11，该轴套的摩擦系数介于0. 3至 0. 5,且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度； 其中，该输送滚轮与该导引压轮用以夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的 转动，导引该板件沿该输送方向移动。2. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中每一输送滚轮具有复数个凸块，该 凸块沿该输送滚轮的轴向依序分别设置在该输送滚轮上。3. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中每一输送滚轮具有一输送轮轴与 至少一输送轴套，该输送轴套的硬度值介于C硬度值（C-Hardness) 7至11，该输送轴套的摩 擦系数介于0. 3至0. 5。4. 如权利要求3所述的导引机构，其特征在于，其中该输送轴套沿着该输送轮轴的轴 向延伸，并套设于该输送轮轴的外表面。5. 如权利要求3所述的导引机构，其特征在于，其中该输送轴套的内、外径间的距离大 于或等于该板件的厚度加2mm之和。6. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轮轴与该轴套之间设有一环状 沟槽或一环状凸缘，用以使该轴套定位于该轮轴上。7. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中每一导引压轮具有复数个该轴套， 且该轴套沿该轮轴的轴向依序分别设置在该轮轴上。8. 如权利要求6所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套间相互连接而形成一体。9. 如权利要求6所述的导引机构，其特征在于，其中每一输送滚轮具有复数个凸块，且 该轴套与该凸块呈现相对或相互间隔交错。10. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套的平均气孔径介于15 ym 至 30 y m。11. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套的宽度大于或等于该轴套 内、外径间的厚度。12. 如权利要求1所述的导引机构，其特征在于，其中该轴套内、外径间的距离大于或 等于该板件的厚度加2mm之和。13. -种制程设备，用以沿一输送方向输送至少一板件，其中该板件具有相对应的一第 一表面与一第二表面，其特征在于，该制程设备包括： 一基座；以及 一导引机构，设于该基座上，该导引机构包含复数个输送滚轮与复数个导引压轮： 该输送滚轮分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第一表面； 该导引压轮分别沿该输送方向依序排列，用以接触该板件的该第二表面，该第二表面 相对于该第一表面，每一导引压轮具有一轮轴与至少一轴套，该轴套凸设于该轮轴上，用以 接触该板件的该第二表面，其中该轴套的硬度值介于C硬度值（C-Hardness) 7至11，该轴套 的摩擦系数介于0. 3至0. 5,且该轴套的硬度低于或等于该输送滚轮的硬度； 其中，该输送滚轮与该导引压轮用以夹置该板件，并通过该输送滚轮与该导引压轮的 转动，导引该板件沿该输送方向移动。14. 如权利要求13所述的制程设备，其特征在于，其中该基座具有二个间隔相对的隔 板，该导引机构的输送滚轮与导引压轮即枢设于二个该隔板之间。15. 如权利要求13所述的制程设备，其特征在于，其包括一动力源，该动力源驱动该导 引压轮且/或该输送滚轮转动。16. 如权利要求13所述的制程设备，其特征在于，其包括一刀具，设于该输送方向初始 位置，用以对该板件清洗或涂布药液。17. 如权利要求13所述的制程设备，其特征在于，其包括复数个喷洒装置，分别沿该输 送方向依序间隔排列，用以对该板件喷洒药液或清洁液。
【专利摘要】本发明为一种导引机构及其制程设备，用以输送一板件，导引机构包含复数输送滚轮与复数导引压轮，每一导引压轮具有一轮轴与至少一轴套，轴套凸设于轮轴上，用以与板件接触，其中轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，轴套的摩擦系数介于0.3至0.5，且轴套的硬度低于或等于输送滚轮的硬度。以此，输送滚轮与导引压轮用以夹置板件，并通过输送滚轮与导引压轮的转动，导引板件沿一输送方向移动。
【IPC分类】B65G13/00, B65G39/07, B65G49/06
【公开号】CN105016002
【申请号】CN201510006397
【发明人】黄志强, 黄建凯, 姚昶劦
【申请人】亚智科技股份有限公司
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2015年1月7日