技术编号：9324408
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于MEMS动态测量方法研究领域，MEMS面内位移的测量属于其中的一项 内容。具体涉及到分形插值、频率域数字散斑相关的MEMS平面位移测量方法。背景技术 微机电系统（MEMS Micr〇-electro_Mechanical Systems)是在微电子工艺的基 础上发展的多学科交叉的前沿研究领域，涉及微机械学、微电子学、自动控制、物理、化学、 生物以及材料学等多种工程技术和科学。MEMS的技术发展开辟了一个全新的和产 业，米用MEMS技术制作的微传...
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