一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9373076

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单晶及取向性材料在半导体、电磁学、光学及机械等领域都表现出优越的性能。在新型结构和功能材料及器件的研究过程中,会遇到多晶体、一定宏观尺寸的单晶及大量介于两者之间的取向性材料,晶体取向测试和单晶质量评价越来越受到研究人员的重视。晶向偏离度是晶体的轴与晶体方向不吻合时,其偏离的角度称为晶向偏离度。晶锭端面与被测晶向偏离,腐蚀坑对称性就会偏离,利用这种特性就可以确定晶向偏离度。晶向检测的常用方法有外貌观察法、光点定向法和X射线衍射法,其中光点定向法和X射线衍射法...
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