一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于材料晶向测试技术领域，具体涉及一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置。
【背景技术】
[0002]单晶及取向性材料在半导体、电磁学、光学及机械等领域都表现出优越的性能。在新型结构和功能材料及器件的研究过程中，会遇到多晶体、一定宏观尺寸的单晶及大量介于两者之间的取向性材料，晶体取向测试和单晶质量评价越来越受到研究人员的重视。
[0003]晶向偏离度是晶体的轴与晶体方向不吻合时，其偏离的角度称为晶向偏离度。晶锭端面与被测晶向偏离，腐蚀坑对称性就会偏离，利用这种特性就可以确定晶向偏离度。晶向检测的常用方法有外貌观察法、光点定向法和X射线衍射法，其中光点定向法和X射线衍射法都是工业生产上常用的方法。
[0004]目前国内无普通光源，机械式带简单光路控制系统的晶向偏离度测试仪，国内外现在一般采用X光衍射方式测试晶体晶向变化，国产X光衍射仪属开放式X光无防护，且进口的费较高。
【发明内容】
[0005]为解决上述技术问题，本发明提供了一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，该使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置通过利用普通光源系统、光路系统和机械角度仪实现硅单晶晶向偏离度测试，解决了 X光衍射仪的开放式X光无防护，且进口的费较高的问题。
[0006]本发明通过以下技术方案得以实现。
[0007]本发明提供的一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，包括普通光源系统、光路系统、镜面和可调角度仪；所述普通光源系统的光出口与光路系统的光入口连接，所述光路系统输出平行光，且平行光穿过镜面中央的小孔打在置于载物台上的被测物上，所述可调角度仪测试反射回镜面上的晶向图的偏离程度。
[0008]所述光路系统中的聚光放大装置先将普通光源聚光，然后通过光栅形成装置形成光栅后，再通过平行光形成装置形成平光，形成的平行光通过透镜输出。
[0009]所述载物台为可调载物台。
[0010]所述普通光源系统为可调灯座及安装在可调灯座上的灯泡。
[0011]所述普通光源系统为可调的普通光源系统。
[0012]所述透镜为形成标准平行光的组合透镜。
[0013]所述镜面的表面进行漫反射处理。
[0014]本发明的有益效果在于:利用普通光源系统和光路系统以形成合适的平行光，并对镜面进行特殊的漫反射处理达到合适的漫反射效果，最终实现光图像清晰、利于角度调节的目的，可调普通光源系统及镜面的制作步骤简单，本发明易于制作且测试方便，能满足测试材料晶向偏离度的测试目的，测试回路简单。
【附图说明】
[0015]图1是本发明的原理框图；
[0016]图2是本发明的光路简图；
[0017]图中:1_普通光源系统1，2_光路系统2，3_镜面3，4_载物台4，5_可调角度仪5。
【具体实施方式】
[0018]下面进一步描述本发明的技术方案，但要求保护的范围并不局限于所述。
[0019]如图1和图2所示的一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，包括普通光源系统1、光路系统2、镜面3和可调角度仪5 ;所述普通光源系统I的光出口与光路系统2的光入口连接，所述光路系统2输出平行光，且平行光穿过镜面3中央的小孔打在置于载物台4上的被测物上，所述可调角度仪5测试反射回镜面3上的晶向图的偏离程度。
[0020]所述光路系统2中的聚光放大装置先将普通光源聚光，然后通过光栅形成装置形成光栅后，再通过平行光形成装置形成平光，形成的平行光通过透镜输出。
[0021]所述载物台4为可调载物台。
[0022]所述普通光源系统I为可调灯座及安装在可调灯座上的灯泡；普通光源系统I为可调的普通光源系统，可实现光源全方位的调节，实现最后通过小孔射出的平行光光强足够满足测试需要、使晶向图可正常高亮在镜面上实现。同时，通过合理调节普通光源系统的位置、光路系统2中有吸收聚光以通过透镜系统形成一定的光路，最终保证平行光从镜面3的小孔射到样品表面，样品上的晶向图反射到镜面上。
[0023]所述透镜为形成标准平行光的组合透镜。
[0024]所述镜面3的表面进行漫反射处理，实现光图像清晰。
[0025]本发明普通光源系统I的光出口接到光路系统2，通过光路系统2形成平行光，形成的平行光通过镜面3上的小孔将平行光打在置于载物台4上的经过处理的硅单晶片样品上，利用可调角度仪调节测试出反射回镜面的晶向图的偏离程度；载物台4可全方位移动。
[0026]本发明的硅单晶晶向偏离度测试仪为非X光衍射方式也非氦氖激光，整机简单体积小。
[0027]本发明利用普通光源和一个简单的光路系统形成合适的平行光，并对镜面进行特殊的漫反射处理，最终实现光图像清晰、利于角度调节的目的，可调普通光源系统及镜面处理制作简单，且测试方便，满足了测试材料晶向偏离度的测试目的，测试回路简单。
[0028]利用本发明的测试回路对硅单晶材料进行晶向偏离度测试，根据实际的测试结果，材料的测试值在规定范围内，满足硅单晶材料晶向偏离度的测试目的，测试回路简单，易于制作且测试方便。
【主权项】
1.一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，包括普通光源系统(I)、光路系统(2)、镜面(3)、载物台(4)和可调角度仪(5)，其特征在于:所述普通光源系统(I)的光出口与光路系统(2)的光入口连接，所述光路系统(2)输出平行光，且平行光穿过镜面(3)中央的小孔打在置于载物台(4)上的被测物上，所述可调角度仪(5)测试反射回镜面(3)上的晶向图的偏离程度。2.如权利要求1所述的使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，其特征在于:所述光路系统(2)中的聚光放大装置先将普通光源聚光，然后通过光栅形成装置形成光栅后，再通过平行光形成装置形成平光，形成的平行光通过透镜输出。3.如权利要求1所述的使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，其特征在于:所述载物台(4)为可调载物台。4.如权利要求1所述的使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，其特征在于:所述普通光源系统(I)为可调灯座及安装在可调灯座上的灯泡。5.如权利要求1所述的使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，其特征在于:所述普通光源系统(I)为可调的普通光源系统。6.如权利要求2所述的使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，其特征在于:所述透镜为形成标准平行光的组合透镜。7.如权利要求1所述的使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，其特征在于:所述镜面(3)的表面进行漫反射处理。
【专利摘要】本发明提供了一种使用普通光源的硅单晶晶向偏离测试装置，包括普通光源系统、光路系统、镜面和可调角度仪；所述普通光源系统的光出口与光路系统的光入口连接，所述光路系统输出平行光，且平行光穿过镜面中央的小孔打在置于载物台上的被测物上，所述可调角度仪测试反射回镜面上的晶向图的偏离程度。本发明利用普通光源系统和光路系统以形成合适的平行光，并对镜面进行特殊的漫反射处理达到合适的漫反射效果，最终实现光图像清晰、利于角度调节的目的，可调普通光源系统及镜面的制作步骤简单，本发明易于制作且测试方便，能满足测试材料晶向偏离度的测试目的，测试回路简单。
【IPC分类】G01N21/84
【公开号】CN105092583
【申请号】CN201510496335
【发明人】许秀群, 杨辉, 许云奕, 张开云, 包祯美, 郭丽萍
【申请人】中国振华集团永光电子有限公司（国营第八七三厂）
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年8月13日