接触电阻的测试方法和测试结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9373467

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现有技术中的热载流子注入实验是一种非常消耗时间的初级可靠性实验。在该实验中,探针与垫片的接触好坏对于实验和最终结果影响很大,当探针接触并不可靠时,实验所得的电信号参数会相应的发生改变。而探针与其对应的焊垫是否接触可靠,可以通过探针与其对应的焊垫之间的接触电阻来判断。现有技术中的缺点由于探针与其对应焊垫之间的接触电阻非常小,使得探针与对应焊垫接触并不可靠,对应的接触电阻也相应较小。这使现有技术中在需要检测探针的接触电阻时,工作人员需要耗费大量的时间和样本进行...
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