技术编号：9374305
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现在要求半导体器件、微电子机械系统(MEMS)等的精细化，除了传统的光刻技术之外，使供给到基板(晶片)上的未固化树脂在模具中成型并且在基板上形成图案的精细处理技术也引起关注。该技术被被称为压印技术，并且使得能够在基板上形成数纳米级的精细结构。例如，压印技术包括光固化方法。在采用该光固化方法的压印装置中，首先，向基板上的图案形成区域供给未固化树脂(光固化树脂)。接下来，使基板上的树脂与形成有图案的模具接触(按压)。然后，在树脂与模具接触的状态下，通过照射光来...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。