压印装置及物品制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种压印装置及物品制造方法。
【背景技术】
[0002]现在要求半导体器件、微电子机械系统(MEMS)等的精细化，除了传统的光刻技术之外，使供给到基板(晶片)上的未固化树脂在模具中成型并且在基板上形成图案的精细处理技术也引起关注。该技术被被称为压印技术，并且使得能够在基板上形成数纳米级的精细结构。例如，压印技术包括光固化方法。在采用该光固化方法的压印装置中，首先，向基板上的图案形成区域供给未固化树脂(光固化树脂)。接下来，使基板上的树脂与形成有图案的模具接触(按压)。然后，在树脂与模具接触的状态下，通过照射光来固化树脂。通过扩大基板与模具之间的间隔(使模具脱离固化树脂)来在基板上形成树脂的图案。
[0003]在采用上述技术的压印装置中，在使模具与树脂脱离时发生的应力可能引起形成在树脂中的图案的变形等。为此，在日本特开2010-098310号公报中公开了如下一种压印装置，该压印装置能够将基板保持部的静电吸附组件划分为多个吸附块并且使控制装置能够部分地进行吸附力的开通/关断切换。此外，日本特开2012-234913号公报公开了一种能够划分基板保持部的吸附区域并通过控制装置逐步调整各区域的吸附力的压印装置。
[0004]然而，在日本特开2010-098310号公报和2012-234913号公报的压印装置中，未考虑与基板保持部的多种基板尺寸的兼容性。随着基板尺寸的多样化，需要具有能够用于不同尺寸的基板保持部的压印装置。
【发明内容】
[0005]鉴于上述情形作出了本发明，本发明例如提供能够针对不同尺寸的基板共享一个基板保持部的压印装置。
[0006]本发明包括一种压印装置，其通过使涂布在基板上的树脂与模具接触来在所述基板上形成图案，所述压印装置包括:基板保持部，其被构造为保持所述基板，其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
[0007]通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。
【附图说明】
[0008]图1是例示根据本发明的第一实施例的压印装置的结构的示意图。
[0009]图2A是例示根据第一实施例的基板保持部的吸附区域的结构示例的示意图。
[0010]图2B是图2A的X轴方向的截面图。
[0011]图2C是图2A的Y轴方向的截面图。
[0012]图3A是例示根据第一实施例的基板保持部保持直径300mm的基板的状态的图。
[0013]图3B是例示根据第一实施例的基板保持部保持直径450mm的基板的状态的图。
[0014]图4A是例示根据第一实施例的基板保持部上的直径300mm的基板的某注射位置(shot posit1n)的吸附压力的切换的说明图。
[0015]图4B是例示在与图4A不同的注射位置的吸附压力的切换的说明图。
[0016]图5A是例不根据第一实施例的基板保持部上的直径300mm的基板的跨越两个吸附区域的注射位置的吸附压力的切换的说明图。
[0017]图5B是例示在与图5A不同的注射位置的吸附压力的切换的说明图。
[0018]图6A是例示根据第一实施例的基板保持部上的直径450mm的基板的某注射位置的吸附压力的切换的说明图。
[0019]图6B是例示在与图6A不同的注射位置的吸附压力的切换的说明图。
[0020]图7A是例不根据第一实施例的基板保持部上的直径450mm的基板的跨越两个吸附区域的注射位置的吸附压力的切换的说明图。
[0021]图7B是例示在与图7A不同的注射位置的吸附压力的切换的说明图。
【具体实施方式】
[0022]下面，参照附图等描述本发明的实施方式。
[0023](第一实施例)
[0024]首先，将描述根据本发明的第一实施例的基板保持部可应用于的压印装置。这里，该压印装置包括通过照射紫外(UV)光固化树脂的UV光固化型压印装置。然而，压印装置可以是通过照射其他波长带的光来固化树脂的压印装置，或者可以是通过其他形式的能量(例如，热)来固化树脂的压印装置。图1是例示根据本实施例的压印装置100的结构的示意图。压印装置100被构造为通过重复压印循环在基板的多个注射区域中形成图案。这里，一个压印循环是通过在将模具(原板)按压在树脂上的状态下固化树脂来在基板的一个注射区域中形成图案的循环。在基板I中，转印了模具的图案，由此在表面层上形成与图案相对应的元素图案。微动台2能够在XY方向和XY面内旋转方向上驱动基板I非常小的量(在XY方向上约1mm，在XY面内旋转方向上约7度)，而粗动台3是将基板I在XY方向上大幅度移动的基板台。微动台2和粗动台3能够在相互正交的方向上将压印区域从基板I的装载(carry-1n)/卸载(carry-out)位置移动到基板的整个表面。压印装置的基架4保持微动台2和粗动台3，并且进行定位。模具5具有刻有凹/凸状图案的前表面。被构造为进行模具5的垂直驱动的垂直模具移动单元5a进行使模具5与基板I上的未固化树脂(抗蚀剂)接触并按压模具5的操作。UV光生成装置6通过经由模具5向未固化树脂照射UV光来使未固化树脂固化。UV光例如包括用于生成i线或g线的诸如卤素灯的光源。此夕卜，UV光生成装置6包括对光源生成的光进行聚光以及成形的功能。分配器7能够通过形成并喷射未固化树脂的微小液滴来在基板I上涂布预定量的树脂。被构造为存储未固化树脂的槽8通过管9向分配器7供给未固化树脂。被构造为在喷射位置与缩回位置(维护位置)之间移动分配器7的移动单元10在正常喷射操作时位于喷射位置。在分配器7维护时，移动单元10将分配器7移动到缩回位置(维护位置)并进行分配器7的清洁和更换。对准显微镜11是被构造为在分配器7将未固化树脂涂布在基板I上之后，将模具5的图案位置与基板I对准的显微镜。对准显微镜11通过使用显微镜测量模具5上配设的对准标记与基板I上的对准标记重叠的状态，来进行相互位置对准。平板12支持(固定)模具5、UV光生成装置6、分配器7、槽8、管9、移动单元10以及对准显微镜11。
[0025]接下来，将描述上述压印装置进行的压印操作。首先，基板I被安装在微动台2和粗动台3上。基板I在微动台2和粗动台3上在喷射未固化树脂的分配器7之下移动，并且被分配器7涂布预定量的树脂。接下来，垂直模具移动单元5a将模具5降低。在树脂与基板I接触的状态下经历UV固化之前，通过使用对准显微镜11将模具5的对准标记与微动台2中的基板I上的对准标记重叠，来进行两者之间的相对位置调整。接下来，垂直模具移动单元5a在基板I的方向上将模具5降低，模具5的图案被按压并转印到未固化树脂。UV光生成装置6从上面照射UV光，UV光经过模具5并且最终将光照射到未固化树脂。在该步骤中，未固化树脂被固化。接下来，通过在脱离方向上使模具5从基板I缩回，在基板I上图案化的树脂层形成，压印操作结束。在基板的多个注射区域中，例如以图3A和图3B例示的连续编号顺序来重复该压印操作。
[0026]接下来，将参照图2A至图2C来描述根据本实施例的基板保持部(基板保持单元)的结构。图2A是例示根据本实施例的基板保持部2A的吸附区域(保持区域)的结构示例的示意图。如图2A所示，基板保持部2A