压印系统及物品的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种压印系统及物品的制造方法。
【背景技术】
[0002]压印技术是能够转印纳米级微图案的技术，并且作为用于半导体器件和磁存储介质的批量生产的纳米光刻技术而受到关注。使用压印技术的压印装置在形成图案的模具(原版)接触基板上的树脂(压印材料)的状态下，使树脂固化，并且使模具与固化的树脂分离，从而在基板上形成图案。这种压印装置一般采用光固化法作为树脂固化方法，所述光固化法是通过诸如紫外光等的光的照射，使基板上的树脂固化。
[0003]当向基板上供给树脂(利用树脂涂布基板)时，压印装置通过使用例如喷墨法，在基板上形成树脂的液滴的阵列。压印装置使模具压住基板上的树脂(液滴)，以利用树脂填充模具的图案(凹部)。然而，在压印装置中，由于模具的图案的差异和制造变化、装置的操作变化等而产生问题，例如在基板上形成的图案的缺陷、以及残留层厚度(RLT)的异常。这使得难以形成高质量图案。
[0004]为了解决这些问题，在日本特许第5214683号公报及日本特开2012-114157号公报中，提出了优化表示树脂的液滴在基板上的供给位置的配给图(map)(树脂涂布图案、压印配方或滴剂配方)的技术。日本特许第5214683号公报公开了创建压印配方的方法，在所述的压印配方的创建中，考虑到模具的图案中的树脂的填充量、要在基板上形成的残留层厚度、基板上的投射区域和边缘的位置、底层(基板)上的凹/凸分布\以及后处理中的加工尺寸的变化。日本特开2012-114157号公报公开了创建滴剂配方创建支持数据库的方法，在所述滴剂配方创建支持数据库中，针对构成半导体集成电路的各个电路块，选择和收集各自具有最小数量的缺陷的滴剂配方。
[0005]随着压印装置重复压印处理，无法从模具的图案(S卩，凹部)完全剥离的树脂被逐渐沉积(附着)，并且模具的图案的形状(凹/凸形状)改变。因此，一般的做法是在预定次数的压印处理结束之后，从装置上卸下模具，清洗模具，将清洗后的模具再次附装至装置，并且重复压印处理。请注意，模具的凹/凸形状包括例如图案尺寸、凹部与凸部的体积比率(占空比)、凹部的深度(凸部的高度)、凹/凸锥角，以及表面粗糙度(Ra)。
[0006]众所周知，当清洗模具时，模具的图案被磨损，并且图案的形状发生改变。通过重复压印处理，由于树脂的附着以及清洗的磨损，模具的图案的形状产生随时间的改变。要延长模具的使用寿命，减小模具的清洗频率是有效的。在这种情况下，需要生成新的配给图，以避免由于附着至模具的图案的树脂而产生图案缺陷或者残留层厚度异常。这是因为当相对于模具的图案的形状随时间的改变利用同一配给图重复压印处理时，非常有可能出现图案缺陷以及残留层厚度异常。
[0007]然而，如上所述，配给图的创建除了模具的图案的形状之外，还需要考虑基板上的投射区域和边缘的位置、底层上的凹/凸分布、后处理中的加工尺寸等。新配给图的创建需要预定时间，并且在创建期间需要停止压印操作，从而降低压印装置的生产率(利用率)。
【发明内容】
[0008]本发明提供一种在生产率方面有利的压印系统。
[0009]根据本发明的第一方面，提供了一种压印系统，其进行通过使用模具来使基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印系统包括:处理单元，其被构造为进行所述压印处理，所述处理单元包括被构造为向所述基板上供给所述压印材料的液滴的分配器；库，其被构造为管理不同的多个配给图，所述多个配给图各自表示要从所述分配器供给到所述基板上的液滴的供给位置和供给量中的至少一者；以及控制单元，其被构造为基于关于由所述模具和所述分配器中的至少一者随时间的改变而导致的所述压印处理的结果的改变的信息，从在所述库中管理的所述多个配给图中，选择要在所述压印处理中使用的一个配给图。
[0010]根据本发明的第二方面，提供了一种物品的制造方法，该制造方法包括以下步骤:利用压印系统在基板上形成图案；以及处理形成有所述图案的所述基板，其中，所述压印系统进行通过使用模具来形成基板上的压印材料的图案的压印处理，并且所述压印系统包括:处理单元，其被构造为进行所述压印处理，所述处理单元包括被构造为向所述基板上供给所述压印材料的液滴的分配器；库，其被构造为管理不同的多个配给图，所述多个配给图各自表示要从所述分配器供给的液滴在所述基板上的供给位置和供给量中的至少一者；以及控制单元，其被构造为基于关于由所述模具和所述分配器中的至少一者随时间的改变而导致的所述压印处理的结果的改变的信息，从在所述库中管理的所述多个配给图中，选择要在所述压印处理中使用的一个配给图。
[0011]通过以下参照附配给图对示例性实施例的描述，本发明的其他方面将变得清楚。
【附图说明】
[0012]图1是示出根据本发明的一个方面的压印系统的结构的示意图。
[0013]图2是示出压印装置的结构的示意图。
[0014]图3是示出主机服务器的结构的示意图。
[0015]图4是示出库的结构的示意图。
[0016]图5是示出生成服务器的结构的示意图。
[0017]图6是用于说明压印处理的流程图。
[0018]图7A至图7C是用于说明压印处理的图。
[0019]图8A至图8D是用于说明压印处理的图。
[0020]图9是用于说明生成配给图的处理的流程图。
[0021]图10是示出供给量分布信息的示例的图。
[0022]图11是示出配给图的示例的图。
[0023]图12是用于说明生成配给图的处理的流程图。
[0024]图13是用于说明关于配给图的改变及更新的处理的流程图。
[0025]图14是示出根据本发明的一个方面的压印系统的结构的示意图。
【具体实施方式】
[0026]下面，将参照附图来描述本发明的优选实施例。请注意，相同的附图标记在所有图中表示相同的构件，并且将不给出重复的描述。
[0027]<第一实施例>
[0028]图1是示出根据本发明的一个方面的压印系统10的结构的示意图。压印系统10进行通过模具使基板上的压印材料成型的压印处理。本实施例使用树脂作为压印材料，并且采用通过紫外光的照射使树脂固化的光固化法，作为树脂固化方法。然而，本发明并不限于树脂固化方法，并且可以采用通过热量使树脂固化的热固化法。压印系统10包括压印装置(处理单元)100、主机服务器(控制单元)200、库300及生成服务器(生成单元)400。
[0029]压印装置100包括用于向基板上供给树脂的分配器(涂布单元)，并且充当进行压印处理的处理单元。例如，压印装置100根据表示要从分配器供给的树脂的液滴在基板上的供给位置的配给图(又称为树脂涂布图案、压印配方或滴剂配方)，在基板上形成树脂的液滴的阵列。压印装置100在模具和树脂相互接触的状态下，使基板上供给的树脂固化，并且使模具与固化树脂分离(脱模)，从而在基板上形成图案。压印装置100具有向主机服务器200发送关于压印处理的结果和压印装置100的状态的信息的功能10a。
[0030]主机服务器200由包括CPU、存储器及HDD的计算机构成，并且控制压印系统10的各单元，即压印装置100、库300及生成服务器400。主机服务器200控制例如表示要从分配器供给的树脂的液滴在基板上的供给位置的配给图。主机服务器200还控制在进行压印处理时的压印条件。主机服务器200具有向压印装置100发送要在压印处理中使用的、适合于压印处理的配给图的功能10b、以及参照(查询)在库300中管理的配给图的功能10c。主机服务器200还具有向生成服务器400发送生成配给图或者表示生成新的配给图的指令的作业所需的信息的功能10e。生成配给图所需的信息包括例如模具的图案的尺寸、要在基板上形成的图案的残留层厚度、基板面内信息、以及基板上的投射区域的布局信息。基板面内信息包括基板的面内的树脂的蒸发量的分布、以及基板的面内的气流的分布。
[0031]库300由包括CPU、存储器及HDD的计算机构成，并且管理(存储)表示要从分配器供给的树脂的液滴在基板上的供给位置的配给图。库300具有将适合于压印处理的配给图发送到主机服务器200的功能10d、以及向生成服务器400发送生成配给图所需的信息的功能10f。库300可以具有对存储的多个配给图的生成历史及选择历史进行分析的功能。
[0032]生成服务器400由包括CPU、存储器及HDD的计算机构成，并且根据来自主机服务器200的作业，生成表示要从分配器供给的树脂的液滴在基板上的供给位置的配给图。此时，生成服务器400基于模具的图案的尺寸(模具的图案的设计值或实际测量值)、以及要在基板上形成的图案的残留层厚度，来生成配给图。此外，生成服务器400可以基于基板面内信息和基板上的投射区域的布局信息中的至少一者，来生成配给图，所述基板面内信息包括基板的面内的树脂的蒸发量的分布、以及基板的面内的气流的分布。如上所述，生成服务器400从主机服务器200或库300中，获取生成这种配给图所需的信息。生成服务器400具有将生成的配给图发送到库300的功能10g。
[0033]请注意，构成压印系统10的装置、服务器及库之间的功能并不限定于图1中所示的结构。可以在与图1中所示的结构中不同的装置、服务器及库之间，来实现这些功能。也可以在压印系统10的外部，配设主机服务器200、库300及生成服务器400。即使在这种情况下，也有必要连接主机服务器200、库300、生成服务器400和压印装置100，使得能够将适合于压印处理的配给图提供给压印装置100。
[0034]在压印系统10中，根据要在基板上形成的图案以及残留层厚度，预先在库300中存储多个不同的配给图。在压印装置100中，需要特别地根据分配器随时间的改变或者模具的图案随时间的改变，来改变表示要从分配器供给的树脂的液滴在基板上的供给位置的配给图。在这种情况下，根据本实施例，可以参照在库300中管理的多个配给图，而不生成新的配给图，来在压印装置100中设置适合于压印处理的配给图。由于当改变配给图时，不再需要停止压印处理和更换模具，因此，能够提高压印装置100的生产率(利用率)。在本实施例中，预测由于模具和分配器中的至少一者随时间的改