压印装置、压印方法及物品制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压印装置、压印方法以及物品制造方法。
【背景技术】
[0002]压印技术是能够转印具有纳米级尺寸的微细图案的技术。该技术实际上用作用于磁存储介质或半导体设备的批量生产的光刻技术。在压印技术中，通过使用模具在诸如硅晶片、玻璃板等的基板上形成微细图案，在所述模具中，通过使用诸如电子束描绘装置等的装置形成微细图案。通过利用树脂涂覆基板的上面来形成微细图案，然后，在使树脂与模具的图案接触的状态下固化树脂。针对涂覆到基板上的树脂，为了增强使树脂与图案接触时的填充性，以数皮升(picolitre)的液滴来将树脂涂覆(供给)到基板上。
[0003]例如，在通过喷墨方法的树脂涂覆方式中，除对于在基板上的图案形成的树脂分配之外，还有必要进行虚拟分配，以防止喷墨喷嘴堵塞，并且维持喷墨分配性能。虚拟分配也被称为初步分配或冲洗。然而，如果皮升单位的微小液滴未被固化而被残留，则会挥发，并且结果是挥发成分粘附到压印装置中的部件上。例如，如果树脂的挥发成分粘附到压印装置中的基板或掩模上，则在形成微细图案时会变成图案缺陷的诱因。
[0004]日本特开2014-41861号公报提出了在喷墨附近配设有排气机构以将在压印装置中发生的树脂的挥发成分排出到压印装置外部的压印装置。
[0005]在日本特开2014-41861号公报中提出的配设排气机构的方法中，仍然留有问题，即，存在未被完全排出的树脂的挥发成分会泄漏到压印装置之内，并且会发生图案缺陷的可能性。
【发明内容】
[0006]本发明提供了一种压印装置，该压印装置防止树脂的虚拟分配粘附到装置中的部件上。
[0007]本发明在其第一方面提供了一种压印装置，所述压印装置用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括:基板台，其被构造为保持所述基板；分配单元，其被构造为将所述压印材料分配在所述基板上；照射单元，其被构造为照射固化所述压印材料的能量束；接收单元，其被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被构造为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。
[0008]本发明在其第二方面提供了一种物品制造方法，所述物品制造方法使用由第一方面指定的压印装置。
[0009]本发明在其第三方面提供一种了压印方法，所述压印方法通过使压印材料与模具接触在基板上形成压印材料的图案，所述压印方法包括:将所述压印材料虚拟分配到不同于形成有所述图案的所述基板的接收单元上；在所述虚拟分配之后在所述基板上形成所述压印材料的所述图案；以及在所述图案形成之前，固化所述虚拟分配的压印材料，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。
[0010]本发明在其第四方面提供了一种压印装置，所述压印装置用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括:分配单元，其被构造为将所述压印材料分配在所述基板上；接收单元，其不同于形成有图案的所述基板，并且被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的所述压印材料；以及固化单元，其被构造为固化分配到所述接收单元上的所述压印材料，而不使分配到所述接收单元上的所述压印材料与所述模具接触。
[0011]本发明在其第五方面提供了一种压印方法，所述压印方法通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印方法包括:将所述压印材料虚拟分配到不同于形成有所述图案的所述基板的接收单元上；以及固化虚拟分配到所述接收单元上的所述压印材料。
[0012]通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。
【附图说明】
[0013]图1A和图1B是示出根据本发明的压印装置的图。
[0014]图2A至图2F是示出压印处理的图。
[0015]图3是示出模具的图。
[0016]图4是示出树脂接收单元的图。
[0017]图5是示出基板输送机构的图。
[0018]图6是示出根据本发明的压印处理的序列的图。
【具体实施方式】
[0019][压印装置]
[0020]图1A示出了根据本发明的通过使基板上的树脂与模具接触而在基板上形成图案的压印装置的实施例。压印装置首先将基板3保持在基板台4的基板保持单元8中。轴外对准观测器7检测基板上配设的标记(未示出)和基板台侧标记15，并且获得基板台4和基板3的位置偏差量及形状偏差量。轴上对准观测器16检测模具侧标记36和基板台侧标记15，并且获得基板台4和模具2的位置偏差量及形状偏差量。校正机构(未示出)校正位置偏差和形状偏差。针对各投射，压印装置进行针对位置偏差和形状偏差的校正处理，还进行形成图案的压印处理，以在基板3上的多个投射区域中形成图案。在压印处理中，通过涂覆单元(分配单元)6从喷墨喷嘴向对象投射区域涂覆(分配)光固化树脂26。接下来，通过沿Z轴驱动保持模具2的喷墨头1，使对象投射区域上的树脂26与模具2的图案接触，并且树脂26填充图案。在该状态下，照射单元5照射作为紫外线等的能量束，以固化树脂26并将图案转印到基板3上。根据本实施例，光固化树脂被用作树脂26。通过照射光来固化光固化树脂。因此，照射单元5照射光以固化光固化树脂。如果紫外线固化树脂被用于树脂26，则能够使用紫外线作为能量束。能量束不限于紫外线，还可以根据树脂26的类型适当地确定。
[0021]照射单元5包括单一能量束源5a、第一照射单元5b和第二照射单元5c。第一照射单元5b向由基板台4保持的基板3照射能量束。第二照射单元5c向后述的第二树脂接收单元18照射能量束。切换机构5d在导向第一照射单元5b的路径与导向第二照射单元5c的路径之间，切换由能量束源5a生成的能量束的路径。
[0022]基板保持单元8包括基板粘附机构和基板保持夹件。基板保持夹件由一个或多个区域组成，并且基板粘附机构被构造在各区域上。照相机14能够从模具保持单元10侧拍摄形成有图案的模具的第一图案单元31，以记录树脂26填充在模具2与基板3之间的处理。由照相机14记录的图像被存储在存储器单元(未示出)中。针对模具侧标记36与基板侧标记之间、以及模具侧标记36与基板台侧标记15之间的相对位置的测量，可以使用诸如在日本特开2008-509825号公报中公开的光位置检测器。特别是，由于能够以简单的光学系统实现高测量精度，因此使用由两者产生的莫尔信号的测量方法是有用的。因为无需高精度光学系统也能够进行莫尔信号的检测，所以能够采用具有低分辨力(小数值孔径)的观测器，并且因此能够构造多个观测器。由此，能够构造例如同时测量投射的四个角的标记的构成。
[0023]图1B示出了压印头。喷墨头1通过以模具保持单元10粘附模具2，来保持模具
2。压力控制机构11能够调整由密封玻璃12和模具背侧包围的模具背侧空间的