压力。通过使用压力控制机构11局部地增加模具背侧空间的压力以大于压印装置中的压力，能够使模具2的凹陷部(凹处)在与夹件相反侧(基板侧)变形为凸形状。
[0024]使用图2A至图2F，对将模具2的图案转印到基板3以在基板3上形成图案的压印处理进行说明。首先，如图2A所示，由涂覆单元6将树脂26 (压印材料)涂覆到基板3上。接下来，如图2B所示，通过使模具2与基板3上的树脂26接近以使模具2与树脂26接触，树脂26填充模具2的图案。接下来，如图2C所示，利用能量束进行照射，以固化树脂26。在固化树脂26之后，通过加宽模具2与基板3之间的间隔，能够将基板3从固化的树脂26分离(脱离步骤)。如图2D所示，当模具2被脱离时，将模具2的图案转印到树脂26。在压印装置内进行图2A至图2D的处理。其后，如图2E所示，利用树脂26作为掩模来进行蚀刻处理，并且如图2F所示，当去除树脂26时，在基板3中形成图案。由蚀刻装置进行图2E的处理，并且由树脂分离装置进行图2F的处理。
[0025]图3示出了模具2。模具2包括熔凝石英、有机聚合物以及金属，但是不仅限于这些材料。模具2具有刻入其中央部的凹部32 (凹处)。针对凹部32的厚度，1mm左右是适当的。不具有凹部32的面被称为第一面，而具有凹部32的面被称为第二面。第一图案单元31形成在第一面的凹部32的中心。第一图案单元31由第一图案基单元35和图案组成，并且第一图案基单元35被构造为厚度约为30 μm。如果在第一图案单元31中形成用于制造的图案，则存在例如在微小图案中形成数纳米或数十纳米的图案的情况。在这种情况下，从第一图案凸部34至第一图案凹形部33的图案深度被构造为从数十纳米至数百纳米左右。第一图案基单元35配备有由轴上对准观测器16使用的模具侧标记36。
[0026]涂覆单元6包括能够针对图1A中的X、y、z轴平移和旋转驱动的驱动单元、喷嘴单元以及用于向喷嘴单元供给树脂26的树脂供给单元。通过使用驱动单元沿X轴驱动喷嘴单元，涂覆单元6能够在第一位置20a与第二位置20b之间移动，在所述第一位置处，能够将树脂26分配到基板3上，所述第二位置位于基板台4的可移动范围外，并且在所述第二位置处，能够向第二树脂接收单元18进行树脂26的虚拟分配。由用于分配树脂26的约数千个分配穴来构造涂覆单元6的喷嘴单元。除用于在基板3上的图案形成的树脂分配之夕卜，对于涂覆单元6的喷嘴单元而言，还需要进行虚拟分配，以防止喷墨的喷嘴单元的堵塞以及维持喷墨分配性能。虚拟分配也可以被称为初步分配或冲洗。
[0027]第一树脂接收单元17和第二树脂接收单元18是用于接收虚拟分配的树脂26的容器。图4示出了从图1A的z轴的视角看到的第一树脂接收单元17或第二树脂接收单元18。第一树脂接收单元17或第二树脂接收单元18包括从顶面41被压下约1mm的凹部42，并且针对凹部42执行虚拟分配。如果凹部42是不因树脂成分而劣化的材料，则不特别限制凹部42的材料。第一树脂接收单元17被构造在与保持基板3的位置不同的位置处的基板台4上，并且基板台4具有用于第一树脂接收单元7的树脂接收单元保持机构(未示出)。树脂接收单元保持机构可以通过使用机械结构来保持、通过使用磁力来保持或通过使用粘附来保持。树脂接收单元保持机构具有用于检测第一树脂接收单元17的有/无的传感器。
[0028]第二树脂接收单元18被构造在第二树脂接收单元保持台25上，并且第二树脂接收单元保持台25配备有用于第二树脂接收单元18的树脂接收单元保持机构(未示出)。树脂接收单元保持机构可以通过使用机械结构保持、通过使用磁力保持、或通过使用粘附保持。树脂接收单元保持机构具有用于检测第一树脂接收单元17的有/无的传感器。第二树脂接收单元保持台25能够在图1A的X、y、z轴的平移方向上被驱动。交换机构19具有能够在图1A的X、y、z轴上平移并且绕Z轴旋转的驱动单元以及用于保持第一树脂接收单元17或第二树脂接收单元18的树脂接收单元保持机构(未示出)。树脂接收单元保持机构可以通过使用机械结构保持、通过使用磁力保持、或通过使用粘附保持。
[0029]存储单元21具有至少两个或更多能够存储树脂接收单元的槽。存储单元21具有用于检测各槽的树脂接收单元的有/无的传感器。能够从压印装置外部访问存储单元21，以交换槽中的树脂接收单元。如果由交换机构19交换第一树脂接收单元17，则首先将基板台4驱动到交换机构19可访问的交换位置，并且消除基板台4的树脂接收单元保持机构的保持。接下来，将交换机构19驱动到交换机构19能够保持第一树脂接收单元17的位置，并且由交换机构19保持第一树脂接收单元17。接下来，将交换机构19驱动到交换机构19能够将第一树脂接收单元17传送到树脂接收单元存储单元21的位置，并且将第一树脂接收单元17传送到存储单元21的空槽。接下来，将交换机构19驱动到存储有待交换的第一树脂接收单元的存储单元21的槽，并且由交换机构19保持待交换的第一树脂接收单元
17。最后，将交换机构19驱动到基板台4的树脂接收单兀保持机构能够保持弟一树脂接收单元17的位置，并且由基板台4的树脂接收单元保持机构保持第一树脂接收单元17。用于通过使用交换机构19来交换第一树脂接收单元17的交换位置与用于通过使用基板交换机构(未示出)来加载或卸载基板3的基板交换位置相同，并且有效地与基板3的交换并行地进行第一树脂接收单元17的交换。即使第一树脂接收单元17的交换与基板3的交换不能并行地进行，也不妨碍本发明。
[0030]如果通过使用交换机构19交换第二树脂接收单元18，则首先，消除第二树脂接收单元保持台25的树脂接收单元保持机构的保持。接下来，将交换机构19驱动到交换机构19能够保持第二树脂接收单元18的位置，并且由交换机构19保持第二树脂接收单元18。接下来，将交换机构19驱动到交换机构19能够将第二树脂接收单元18传送到存储单元21的位置，并且将第二树脂接收单元18传送到存储单元21的空槽。接下来，将交换机构19驱动到存储有待交换的第一树脂接收单元的、存储单元21的槽，并且由交换机构19保持待交换的第二树脂接收单元18。最后，将交换机构19驱动到能够利用第二树脂接收单元保持台25的树脂接收单元保持机构保持第二树脂接收单元18的位置，并且由第二树脂接收单元保持台25的树脂接收单元保持机构保持第二树脂接收单元18。第二树脂接收单元18的交换可以与通过图2A至图2F说明的压印处理，或基板3的交换并行地执行。即使第二树脂接收单元18的交换与基板3的交换不能并行地进行，也不妨碍本发明。
[0031]在交换树脂接收单元之后，针对具有未加载的树脂接收单元的存储单元21的槽信息被记录在压印装置的存储器单元中，在压印装置的显示单元上显示是未使用各槽中的树脂接收单元，还是使用了各槽中的树脂接收单元，并且向压印装置外部的系统做出通知。如果不存在未使用的树脂接收单元，则向压印装置外部做出针对交换请求的通知。当在存储单元