技术编号：9374337
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体光刻机领域中，PCB板除尘是光刻设备曝光前的重要工序，设备曝光工序前，需要将PCB板表面除尘。如果PCB板表面吸附有灰尘、金属肩、人体皮肩等颗粒物，曝光时会出现曝光不清晰甚至断点现象，因此PCB板除尘是光刻过程的技术难题。传统的PCB板除尘是人工用粘尘滚在PCB板上来回滚筒，达到除尘目的，此过程大概需要10~20秒，且此过程不可提前于曝光前太久，否则PCB板曝光前可能再次吸附灰尘，因此会大大影响工作效率，不利于PCB板曝光产能的提高。同时在曝光过程...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。