一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置的制造方法
【专利说明】一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置
[0001]
技术领域
[0002]本发明涉及激光直写曝光机技术领域，具体来说是一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置。
[0003]
【背景技术】
[0004]在半导体光刻机领域中，PCB板除尘是光刻设备曝光前的重要工序，设备曝光工序前，需要将PCB板表面除尘。如果PCB板表面吸附有灰尘、金属肩、人体皮肩等颗粒物，曝光时会出现曝光不清晰甚至断点现象，因此PCB板除尘是光刻过程的技术难题。传统的PCB板除尘是人工用粘尘滚在PCB板上来回滚筒，达到除尘目的，此过程大概需要10~20秒，且此过程不可提前于曝光前太久，否则PCB板曝光前可能再次吸附灰尘，因此会大大影响工作效率，不利于PCB板曝光产能的提高。同时在曝光过程中，PCB板吸附在曝光平台上在X、Y两个方向前后左右移动，此过程中也有再次吸附灰尘颗粒的可能，同样会增加产品不良率。如何开发出一种能够在曝光过程中依然可以对PCB板利用粘尘滚进行除尘的装置已经成为急需解决的技术问题。
[0005]
【发明内容】
[0006]本发明的目的是为了解决现有技术中无法在曝光过程中对PCB板进行除尘的缺陷，提供一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置来解决上述问题。
[0007]为了实现上述目的，本发明的技术方案如下:
一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，包括机台，机台上安装有支撑平台，支撑平台上安装有曝光机头组，还包括自粘尘组件和固定板，固定板固定安装在支撑平台的侧部且位于曝光机头组前部面板的下方，自粘尘组件安装在固定板上；
自粘尘组件包括左纵向运动支架和右纵向运动支架，左纵向运动支架与右纵向运动支架两者结构相同，左滚筒架安装在左纵向运动支架上，右滚筒架安装在右纵向运动支架上，左滚筒架和右滚筒架之间安装有粘尘滚；
右纵向运动支架包括垂直固定安装在固定板上的纵向滑座板，滑块安装在纵向滑座板上且与纵向滑座板构成滑动配合，滑块上设有固定圈，轴承的外圈固定安装在固定圈内，右滚筒架固定安装在轴承的内圈上，限位板安装在纵向滑座板上且位于滑块的上方，螺钉插在限位板上且与限位板构成滑动配合，螺钉的下端固定安装在滑块上，螺钉上套有纵向弹簧，纵向弹簧位于限位板与滑块之间。
[0008]所述的左滚筒架贯穿左纵向运动支架的左滑块，左纵向运动支架的左纵向滑座板上设有左椭圆孔，左椭圆孔的位置与左滑块的移动轨迹相对应，左滚筒架上位于左滑块的两侧均安装有卡环，卡环的数量为2个；右滚筒架贯穿滑块，纵向滑座板上设有右椭圆孔，右椭圆孔的位置与滑块的移动轨迹相对应，右滚筒架上安装有横向弹簧，横向弹簧抵在轴承上。
[0009]所述的机台上安装有XY轴移动平台，XY轴移动平台上放置有PCB板，粘尘滚压在PCB板上方。
[0010]所述的纵向滑座板上设有纵向凹槽，滑块上设有纵向凸起，纵向凸起插在纵向凹槽内。
[0011 ] 还包括加固板，加固板垂直安装在左纵向滑座板和纵向滑座板上。
[0012]
有益效果
本发明的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，与现有技术相比不仅使得除尘工作实现非人工化处理，并且在曝光过程中依然可以对PCB板进行除尘作业。通过在右滚筒架上安装横向弹簧的设计，可以方便地装卸粘尘滚。通过左纵向运动支架和右纵向运动支架的设计，使得粘尘滚可以贴紧PCB板进行除尘，且不受粘尘滚的粘尘膜失效后，撕去粘尘膜而造成粘尘滚直径变小，无法贴服PCB板粘尘的影响。其结构简单、成本低廉，有效的解决了 PCB板曝光前的除尘问题，提高了产能、降低了不良率。
[0013]
【附图说明】
图1为本发明的结构立体图；
图2为本发明中自粘尘组件的结构立体图；
图3为本发明中自粘尘组件的结构正视图；
图4为图3的A点放大图；
图5为右纵向运动支架的结构爆炸图；
图6为左纵向运动支架的结构爆炸图；
其中，1-自粘尘组件、2-XY轴移动平台、3-PCB板、4-曝光机头组、5-机台、6-支撑平台、7-固定板、8-左纵向运动支架、9-右纵向运动支架、10-加固板、11-纵向滑座板、12-滑块、13-固定圈、14-轴承、15-限位板、16-螺钉、17-纵向弹黃、18-左滚筒架、19-右滚筒架、20-粘尘滚、21-卡环、22-横向弹簧、23-右椭圆孔、24-纵向凹槽、25-纵向凸起、31-左滑块、32-左纵向滑座板、33-左椭圆孔。
[0014]
【具体实施方式】
[0015]为使对本发明的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下:
如图1所示，本发明所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，包括机台5，机台5上安装有支撑平台6和XY轴移动平台2，支撑平台6用于支撑安装曝光机头组4，XY轴移动平台2用于移动PCB板3。支撑平台6上安装有曝光机头组4，XY轴移动平台2上放置有PCB板3，PCB板3在XY轴移动平台2的作用下进行移动，曝光机头组4安装在支撑平台6上，曝光机头组4的曝光镜头穿过支撑平台6朝下，在PCB板3的移动轨迹上方，PCB板3在XY轴移动平台2的运动下完成曝光作业。固定板7用于安装自粘尘组件1，固定板7固定安装在支撑平台6的侧部且位于曝光机头组4前部面板的下方，自粘尘组件I安装在固定板7上。即自粘尘组件I位于曝光机头组4前部伸出支撑平台6部分的下方，与曝光机头组4前部面板保持同一垂直面，这样可以尽可能的接近曝光区域。
[0016]如图2所示，自粘尘组件I包括左纵向运动支架8和右纵向运动支架9，左纵向运动支架8与右纵向运动支架9两者结构相同，均是起到安装左滚筒架18或右滚筒架19的目的。为了增加左纵向运动支架8和右纵向运动支架9的稳定性，还可以在左纵向运动支架8的左纵向滑座板32与右纵向运动支架9的纵向滑座板11之间垂直安装加固板10，起到加固支撑作用。左滚筒架18安装在左纵向运动支架8上，右滚筒架19安装在右纵向运动支架9上，在左滚筒架18和右滚筒架19之间安装有粘尘滚20。粘尘滚20为现有技术中的粘尘部件，利用现有技术中的安装方式使用左滚筒架18和右滚筒架19对粘尘滚20进行两端夹持安装。
[0017]如图3、图4和图5所示，右纵向运动支架9包括垂直固定安装在固定板7上的纵向滑座板11，纵向滑座板11为实现上下垂直方向运动的滑座，但由于粘尘滚20的直径限制，纵向滑座板11横向长度较长。滑块12安装在纵向滑座板11上且与纵向滑座板11构成滑动配合，滑块12能够在纵向滑座板11上进行上下滑动，滑动配合可以采用现有技术中的多种方式，也可以在纵向滑座板11上设两个纵向凹槽24充当导轨，滑块12上设两个纵向凸起25，纵向凸起25插在纵向凹槽24内，从而实现滑块12在纵向滑座板11上进行上下滑动。滑块12上设有固定圈13，固定圈13用于安装轴承14，轴承14的外圈固定安装在固定圈13上，固定圈13可以为在滑块12纵向开设的孔。右滚筒架19固定安装在轴承14的内圈上，这样便实现了右滚筒架19在滑块12上的旋转。
[0018]为了使得粘尘滚20始终保持下压力，粘尘滚20能够压在PCB板3的上方。在纵向