滑座板11上通过螺丝安装一个限位板15，限位板15位于滑块12的上方，螺钉16插在限位板15上且与限位板15构成滑动配合，螺钉16主要起到轴的作用，其与限位板15构成滑动配合最简单的方式就是直接穿过限位板15，并通过螺钉16上部的凸起限位在限位板15上。螺钉16的下端固定安装在滑块12上，螺钉16上套有纵向弹簧17，并且纵向弹簧17位于限位板15与滑块12之间。则当粘尘滚20受到PCB板3的挤压时，粘尘滚20通过右滚筒架19和轴承14带动滑块12上移，滑块12在上移时将螺钉16从限位板15上顶出，由于纵向弹簧17限位在限位板15与滑块12之间，则滑块12在上移过程中受到纵向弹簧17的反弹力，从而保证了粘尘滚20能够紧贴在PCB板3的上方。
[0019]为了方便粘尘滚20的更换，也为了防止粘尘滚20在粘尘作业时左右摆动，如图6所示，左滚筒架18贯穿左纵向运动支架8的左滑块31，为安装卡环21腾出空间。左纵向运动支架8的左纵向滑座板32上设有左椭圆孔33，左椭圆孔33的位置与左滑块31的移动轨迹相对应，同样是为安装卡环21腾出空间，使得卡环21可以在左纵向滑座板32上左椭圆孔33的范围内运动。左滚筒架18上位于左滑块31的两侧均安装有卡环21，卡环21的数量为2个，可以左滚筒架18上设置两个凹槽，卡环21安装在凹槽内，也可以直接安装在左滚筒架18上，通过两个卡环21分别在左滑块31两侧的限定，限定了左滚筒架18在左滑块31上的水平移动。如图5所示，右滚筒架19贯穿滑块12，纵向滑座板11上设有右椭圆孔23，右椭圆孔23的位置与滑块12的移动轨迹相对应，在纵向滑座板11上设计右椭圆孔23是为了给右滚筒架19提供向右侧移动的空间。右滚筒架19上安装有横向弹簧22，横向弹簧22抵在轴承14上。横向弹簧22在轴承14上的弹性力将右滚筒架19抵在粘尘滚20上，从而与左滚筒架18相配合对粘尘滚20进行夹持。当需要更换粘尘滚20时，将右滚筒架19向右拉，压缩横向弹簧22，右滚筒架19伸出纵向滑座板11，将粘尘滚20取下进行更换。
[0020]在实际使用时，PCB板3放置于XY轴移动平台2上，曝光开始，XY轴移动平台2带动PCB板3向前运动，在纵向弹簧17作用下，粘尘滚20紧贴PCB板3，经过自粘尘组件I进行除尘，自粘尘组件I紧靠曝光机头组4，即除尘后立即进入曝光区域，避免曝光前再次吸附灰尘颗粒。曝光一路结束后，XY轴移动平台2带动PCB板3向后运动退回起点，随后XY轴移动平台2带动PCB板3向右运动，开始第二路曝光。第二路曝光开始，XY轴移动平台2带动PCB板3再次向前运动，PCB板3再次经过自粘尘组件I除尘，即使第一路曝光后PCB板3再次吸附灰尘颗粒，第二路曝光时自粘尘组件I也可再次除尘，避免曝光过程中灰尘污染。
[0021]粘尘滚20长时间工作后，粘尘效果降低，此时只需撕去外圈粘尘膜，因撕去外圈粘尘膜造成粘尘滚20外径变小，此时纵向弹簧17在限位板15的限位下抵着滑块12下移，即带动粘尘滚20下移，粘尘滚20仍可紧贴PCB板3除尘，无需人工调整。粘尘膜用完后，向右拉动右滚筒架19，取下用完的粘尘滚20装入新的粘尘滚20，松开右滚筒架19，在横向弹簧22的作用下，右滚筒架19自动压紧粘尘滚20，即可快速完成更换粘尘滚20的工作。
[0022]以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，包括机台(5)，机台(5)上安装有支撑平台(6 )，支撑平台(6 )上安装有曝光机头组(4)，其特征在于:还包括自粘尘组件(I)和固定板(7)，固定板(7)固定安装在支撑平台(6)的侧部且位于曝光机头组(4)前部面板的下方，自粘尘组件(I)安装在固定板(7 )上； 自粘尘组件(I)包括左纵向运动支架(8 )和右纵向运动支架(9 )，左纵向运动支架(8 )与右纵向运动支架(9)两者结构相同，左滚筒架(18)安装在左纵向运动支架(8)上，右滚筒架(19)安装在右纵向运动支架(9)上，左滚筒架(18)和右滚筒架(19)之间安装有粘尘滚(20)； 右纵向运动支架(9 )包括垂直固定安装在固定板(7 )上的纵向滑座板(11 )，滑块(12 )安装在纵向滑座板(11)上且与纵向滑座板(11)构成滑动配合，滑块(12)上设有固定圈(13)，轴承(14)的外圈固定安装在固定圈(13)内，右滚筒架(19)固定安装在轴承(14)的内圈上，限位板(15)安装在纵向滑座板(11)上且位于滑块(12)的上方，螺钉(16)插在限位板(15)上且与限位板(15)构成滑动配合，螺钉(16)的下端固定安装在滑块(12)上，螺钉(16 )上套有纵向弹簧(17 )，纵向弹簧(17 )位于限位板(15 )与滑块(12 )之间。2.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于:所述的左滚筒架(18)贯穿左纵向运动支架(8)的左滑块(31)，左纵向运动支架(8)的左纵向滑座板(32)上设有左椭圆孔(33)，左椭圆孔(33)的位置与左滑块(31)的移动轨迹相对应，左滚筒架(18)上位于左滑块(31)的两侧均安装有卡环(21)，卡环(21)的数量为2个；右滚筒架(19)贯穿滑块(12)，纵向滑座板(11)上设有右椭圆孔(23)，右椭圆孔(23)的位置与滑块(12 )的移动轨迹相对应，右滚筒架(19 )上安装有横向弹簧(22 )，横向弹簧(22 )抵在轴承(14)上。3.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于:所述的机台(5)上安装有XY轴移动平台(2)，XY轴移动平台(2)上放置有PCB板(3)，粘尘滚(20)压在PCB板(3)上方。4.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于:所述的纵向滑座板(11)上设有纵向凹槽(24 )，滑块(12 )上设有纵向凸起(25)，纵向凸起(25)插在纵向凹槽(24)内。5.根据权利要求2所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于:还包括加固板(10 )，加固板(10 )垂直安装在左纵向滑座板(32 )和纵向滑座板(11)上。
【专利摘要】本发明涉及一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，与现有技术相比解决了无法在曝光过程中对PCB板进行除尘的缺陷。本发明的右纵向运动支架包括垂直固定安装在固定板上的纵向滑座板，滑块安装在纵向滑座板上且与纵向滑座板构成滑动配合，滑块上设有固定圈，轴承的外圈固定安装在固定圈上，右滚筒架固定安装在轴承的内圈上，限位板安装在纵向滑座板上且位于滑块的上方，螺钉插在限位板上且与限位板构成滑动配合，螺钉的下端固定安装在滑块上，螺钉上套有纵向弹簧，纵向弹簧位于限位板与滑块之间。本发明不仅使得除尘工作实现非人工化处理，并且在曝光过程中依然可以对PCB板进行除尘作业。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN105093854
【申请号】CN201510567655
【发明人】曹常瑜
【申请人】合肥芯碁微电子装备有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年9月9日