技术编号:9406485
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,为提高显示面板的良品率,在制造过程中,经常需要对基板进行清洗,以去除基板表面附着的异物。对于大型生产线,清洗基板需要使用大量的清洗液,为节约能源、降低成本,需要对使用完的清洗液进行循环利用。但是,清洗液在长时间循环利用后,质量会变得越来越差,不仅在清洗过程中可能会对基板产生损伤,甚至还会使整个清洗装置的水箱残留异物,导致后续即便更换新的清洗液也会受到影响。为此,当前亟需一种合理循环利用清洗液的机制。发明内容本发明要目的是提供一种在不影响基板清洗效果的...
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