技术编号:9419044
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来半导体集成电路(IC)工业已经经历了快速增长。IC材料和设计中的技术进步已经产生了数代1C,其中,每一代IC都具有比前一代IC更小且更复杂的电路。因此,这些进步已增加了加工和制造IC的复杂性,并且为了实现这些进步,需要IC加工和制造中的类似的发展。可以制造半导体电阻器并且将其集成到IC内以提供各种功能并且进一步提高IC的性能。对于提供具有多种功能和先进性能的IC来说,IC加工和制造中的需求已变得更有挑战性。期望这种半导体电阻器具有低电阻温度系数(TC...
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