技术编号:9434447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前高PPI (Pixels Per Inch)已经成为中小尺寸显示装置的主要发展方向,为了实现更好的TFT(薄膜晶体管)特性以保证高PPI的充电需求,在产品中多采用顶栅结构。但是顶栅结构的工艺一般较复杂,掩膜工艺繁多,因此成本和良率成为面板厂商最为亟待解决的问题。为了避免背光源的强光直接照射背沟道产生漏电流,一般在半导体层之前需要制作一层遮光层。现有技术中的遮光层通常采用金属Mo制作,单独进行一次掩膜工艺形成图案。有的产品为了减少掩膜工艺次数以降低成本,...
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