技术编号:9434475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜晶体管(TFT,Thin Film Transistor)阵列面板是液晶显示装置的重要部件,薄膜晶体管通常作为开关或驱动部件。低温多晶硅薄膜晶体管因其具有画面刷新速度快、亮度高和清晰度高等优点而倍受关注。低温多晶硅薄膜晶体管通常包括形成于基板上的缓冲层、多晶硅层、形成于多晶硅层上的栅极绝缘层、设置于栅极绝缘层上的栅极,以及源极和漏极。在多晶硅层上、且在源极和漏极之间形成一沟道,通常对所述沟道所对应的多晶硅层的部位进行掺杂,以调整薄膜晶体管的阈值电压,另...
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