技术编号：9434555
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。硅基半导体在低成本大规模集成电路方面取得巨大成功，但随着微电子器件集成度和运行速度的大幅提高，带来了器件功耗的大幅度增加、摩尔定律面临失效等瓶颈问题。II1-V族材料不仅具有极为突出的光电性能，在电子迀移率方面也具有明显优势，在超高速微电子器件、光电器件方面获得广泛应用，但II1-V族半导体材料化合元素日益稀缺、制造成本较高等问题制约了其进一步的发展。基于硅基II1-V族材料高电子迀移率微电子集成器件，有可能实现II1-V族和硅基半导体优势互补、低成本、高...
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