技术编号:9491553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在诸如玻璃衬底之类的平板之上形成并且通常在液晶显示装置中使用的晶体管一般包括诸如非晶硅或多晶硅之类的半导体材料。虽然包括非晶硅的晶体管具有低场效应迀移率,但是它们能够在大玻璃衬底之上形成。相比之下,虽然包括多晶硅的晶体管具有高场效应迀移率,但是它们需要诸如激光退火之类的晶化过程并且不是一直适合于大玻璃衬底。另一方面,包括氧化物半导体作为半导体材料的晶体管引起关注。例如,专利文献1和2公开用以使用氧化锌或In-Ga-Ζη-Ο基氧化物半导体作为半导体材料来形成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。