技术编号:9493809
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种罐。发明背景该罐是一种用于存储在涉及半导体和电子材料的制造工艺中所使用的有机和无机金属化合物的容器。这些有机和无机金属化合物的大多数为特别设计的具有高纯度的昂贵化合物,并且大多数此类前体对于空气或水是非常敏感的,并且因此该罐由一种提供密封和耐化学品性的金属制成。该罐必须被保持在一个给定温度下,以便保存存储在其中的有机和无机金属化合物。为此目的,使用一个用于冷却该罐的激冷器。该激冷器包围该罐,从而使冷却水循环用于冷却该罐。在标题为“用于半导体制...
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