罐用激冷器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种罐。
[0002]发明背景
[0003]该罐是一种用于存储在涉及半导体和电子材料的制造工艺中所使用的有机和无机金属化合物的容器。这些有机和无机金属化合物的大多数为特别设计的具有高纯度的昂贵化合物，并且大多数此类前体对于空气或水是非常敏感的，并且因此该罐由一种提供密封和耐化学品性的金属制成。
[0004]该罐必须被保持在一个给定温度下，以便保存存储在其中的有机和无机金属化合物。为此目的，使用一个用于冷却该罐的激冷器。
[0005]该激冷器包围该罐，从而使冷却水循环用于冷却该罐。在标题为“用于半导体制造设备的激冷器系统(CHILLER SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT) ”的注册专利号10-0773474中披露了一种激冷器。
[0006]图1是一个常规的激冷器10的截面图。如该附图中所示，激冷器10包括一个托架11，以及一个用于接收罐20的插入在托架11中的内壳体13。如由箭头所指示的，通过一个入口管15供应的冷却水在内壳体13与罐20之间流动，通过一个排放管17被排出。
[0007]在这种情况下，设计激冷器10使得从内壳体13排放的冷却水在托架11与内壳体13之间的空间(S1)中被收集，并且然后通过排放管17被排出。在此，该冷却水的温度不同于外部的大气温度，并且因此蒸汽在托架11的外壁上冷凝产生露水(M)而导致问题。
【发明内容】
[0008]发明目的
[0009]根据本发明的一个实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于防止在该托架的外壁上产生露水。
[0010]根据本发明的另一个实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于通过改进盖子与密封件的连接结构来防止冷却水泄漏到外面。
[0011 ] 根据本发明的又另一个实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于防止该罐移位。
[0012]根据本发明的一个另外的实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于收集在盖子的上表面上产生的露水，以便防止露水向下流到底部。
[0013]本领域的普通技术人员将从本发明的优选实施例中清楚地理解本发明的目的和优点。
[0014]发明概述
[0015]根据本发明的一个实施例，一个罐用激冷器包括:一个鼓形托架，具有一个开放上部；一个插入在该托架中的内壳体，具有一个在该托架的内壁表面与该内壳体之间的给定空间，用于接收该罐；以及一个排水容器，被安排在该内壳体与该托架之间，用于收集从该内壳体排放的冷却水。
[0016]根据本发明的另一个实施例，该排水容器与该托架的内壁分开一个给定的空间。
[0017]根据本发明的另一个实施例，一个绝缘层被安排在该排水容器与该托架的内壁之间的给定空间中。
[0018]根据本发明的另一个实施例，一个冷却水排放管通过该托架被连接到该排水容器上，以便将收集的所有冷却水通过该冷却水排放管从该内壳体排入到该排水容器中。
[0019]根据本发明的另一个实施例，该排水容器的形状像一个围绕该内壳体的环。
[0020]根据本发明的另一个实施例，多个倒三角形溢流孔以在该内壳体的上部内部中的孔之间的一个给定间隔形成，以便与该排水容器连通，使得在该内壳体中流动的冷却水移动通过这些溢流孔至该排水容器。
[0021]根据本发明的另一个实施例，多个倒三角形溢流孔以在该内壳体的上部内部中的孔之间的一个给定间隔形成，以便与该排水容器连通，使得在该内壳体中流动的冷却水移动通过这些溢流孔至该排水容器。
[0022]根据本发明的另一个实施例，一个锁定裙(locking skirt)在该内壳体的底部中形成，以便用一个沿该罐的下部的圆周延伸的锁条锁定至一个给定长度。
[0023]根据本发明的另一个实施例，一个罐用激冷器包括:一个上密封部分，被固定地连接至该托架和该内壳体的上部；一个可拆卸密封件，被可拆卸地附接至该上密封部分的上表面；以及一个密封盖，被连接至该可拆卸密封件的上部，用于压着该可拆卸密封件，以便防止冷却水流动到外面。
[0024]根据本发明的另一个实施例，该上密封部分的上表面配备有一个沉陷给定深度的用于容纳所述可拆卸密封件的座面(seat surface)，并且该密封盖的上部配备有一个压力斜坡凸起(pressure slope project1n)，该压力斜坡凸起具有从内到外沿径向方向增加的长度，用于压着该可拆卸密封件。
[0025]根据本发明的另一个实施例，一个露水接收凹槽是通过使该密封盖的上表面沉陷而形成的，像一个沿该周长的沟道以接收露水，并且一个除湿口袋被连接到该托架的上部的外表面以收集来自该露水接收凹槽的露水。
[0026]根据本发明的另一个实施例，一个罐用激冷器进一步包括一个口袋连接管，其一端被安排在该露水接收凹槽中并且另一端被可拆卸地附接至该除湿口袋。
[0027]发明效果
[0028]根据本发明的至少一个实施例，防止露水在该罐用激冷器的外部形成。
[0029]根据本发明的至少一个实施例，在该密封盖的上表面上冷凝的露水被该露水接收凹槽接收，并且被排放至该除湿口袋，因此防止露水向下流动到底部。
[0030]根据本发明的至少一个实施例，该压力斜坡凸起的倾斜表面压着该可拆卸密封件以便有效地防止冷却水泄漏到外面。
[0031]根据本发明的至少一个实施例，该内壳体的下部配备有一个用于防止该罐转动的锁定裙，因此稳定地固定该罐的位置。
[0032]附图简要说明
[0033]图1是用于罐的一个常规激冷器的截面图；
[0034]图2是展示根据本发明的一个罐用激冷器的外部结构的透视图；
[0035]图3是展示根据本发明的一个罐用激冷器的拆分结构的透视图；
[0036]图4是根据本发明的一个罐用激冷器的截面图、以及冷却水的流动路径；并且
[0037]图5是根据本发明的一个罐用激冷器的上密封结构的放大视图。
[0038]用于进行本发明的详细说明
[0039]为了清楚地理解本发明，本发明的优选实施例参照附图进行描述。本发明的一个实施例可以多样地进行修改，并且本发明的范围必须不受限于以下具体描述的实施例。提供这些实施例用于本领域的普通技术人员清楚地理解本发明。因此，这些组成部分的形状等可以被放大以强调清楚的描述。应指出相同的元件由相同的参考号来表示。未描述可能混淆本发明的主旨的常规功能和结构。
[0040]图2是根据本发明的一个实施例的罐用激冷器100的外部结构的透视图，图3是根据本发明的一个实施例的罐用激冷器100的拆分结构的透视图，图4是根据本发明的罐用激冷器100的截面图、以及冷却水的流动路径，并且图5是根据本发明的罐用激冷器100的上密封结构的放大视图。
[0041]如这些附图中所示，根据本发明的罐用激冷器100包围一个罐200，并且使冷却水循环以将罐200冷却至一个给定温度。在这种情况下，罐用激冷器100配备有一个用于使冷却水循环的循环栗(未示出)。
[0042]根据本发明的一个实施例的激冷器100包括一个鼓形托架110，一个用于包围罐200的插入托架110中的内壳体120，一个被安排在托架110与内壳体120之间的排水容器130，一个用于将冷却水引导到内壳体120中的入口管140，一个用于将排水容器130的冷却水排出到外部的排放管145，一个被连接到托架110和内壳体120的上部的上密封部分150，一个被可拆卸地附接至上密封部分150的可拆卸密封件160，一个被连接到可拆卸密封件160的上部的密封盖170，以及一个被连接到托架110的外周表面用于收集密封盖170中产生的露水的除湿口袋180。
[0043]托架110是作为用于包围内壳体120和罐200的具有一个给定的直径的圆筒而形成的。托架110包括一个托架主体111、一个用于连接托架主体111和内壳体120的内入口管113、以及一个被连接到托架110的底部的可移动容器115。
[0044]托架主体111使得冷却水稳定地流入和流出，并且稳定地支撑罐200。托架主体111的下部配备有一个入口管140，并且其上部配备有一个排放管145。入口管140被连接到内入口管113。内入口管113被连接到一个在内壳体120的底部中的入口孔122，以便将冷却水供应至内壳体120。
[0045]可移动容器115例如被连接到托架110的底部用于支撑有待移动的托架110。可移动容器115的下部配备有多个轮子116。
[0046]托架主体111的上部配备有一个用于连接内壳体120和托架