导电薄膜和包括其的电子器件的制作方法技术资料下载

技术编号:9516643

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例如平板显示器如LCD或LED、触摸屏面板、太阳能电池、透明晶体管等的电子器 件包括导电薄膜或透明导电薄膜。期望地,用于导电薄膜的材料可具有,例如,在可见光区 域中大于或等于约80%的高的光透射率和小于或等于约10 4Q*cm的低的比电阻。目前使 用的氧化物材料可包括氧化铜锡广IT0")、锡氧化物(例如,Sn〇2)、锋氧化物(例如,ZnO) 等。广泛用作透明电极材料的ITO是具有3. 75电子伏特(eV)的宽的带隙的简并半导体并 且可被容易地瓣射W具有大...
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