技术编号:9526997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。液相法是制备氧化硅等薄膜的常见技术,具有成本低廉、操作简便、可用于柔性基底等突出优点,随着太阳能电池和柔性可穿戴设备等领域的蓬勃发展,液相法薄膜制备近年来受到越来越高的重视,目前已经广泛应用于电子、光学、电磁学、热学、化学及复合材料的制备等各个领域。在使用液相法制备薄膜的过程中提拉法和旋涂法是常见的两种镀膜手段。目前常见的液相法制备氧化硅薄膜是利用溶胶凝胶法先生成氧化硅溶胶,再利用旋涂法、浸渍提拉法、单喷头静电喷射法等在基底表面生成二氧化硅薄膜。具体的方法...
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