技术编号:9558642
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在多层之间运送物品的层间运送设备。背景技术在日本国特开2009 — 137675号公报中,公开了在多层(上层、下层)设有基板的处理装置的半导体处理设备中,将收容基板的容器作为运送对象的物品的层间运送设备。在该层间运送设备中,升降运送装置在多层之间运送该物品。在层间运送设备中,具备作为支撑向上层和下层运入的物品的运入用载货台,以及作为支撑从上层和下层运出的物品的运出用载货台的物品支撑部。在上层和下层还设有用于预先暂时保管物品的物品收纳部。在升降运送...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。