层间运送设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在多层之间运送物品的层间运送设备。
【背景技术】
[0002]在日本国特开2009 — 137675号公报中，公开了在多层(上层、下层)设有基板的处理装置的半导体处理设备中，将收容基板的容器作为运送对象的物品的层间运送设备。在该层间运送设备中，升降运送装置在多层之间运送该物品。在层间运送设备中，具备作为支撑向上层和下层运入的物品的运入用载货台，以及作为支撑从上层和下层运出的物品的运出用载货台的物品支撑部。在上层和下层还设有用于预先暂时保管物品的物品收纳部。在升降运送装置中，具备物品支撑部，物品收纳部，以及能够在升降运送装置相互之间移载物品的移载装置(图1?图3、
[0021]、
[0026]等)。另外，物品收纳部用于在遍及多层地运送物品的情况下，因相对于各层上的物品的处理时机的不同等而在某一层收到的物品不能够立即向其它层交接的情况下，预先暂时保管物品。日本国特开2009 - 137675号公报的层间运送设备是仅具备一个单位运送设备的例子，该单位运送设备具备升降运送装置和物品支撑部与物品收纳部的。
[0003]这样，在仅具备一个单位运送设备的情况下，若该单位运送设备的升降运送装置发生故障，则产生不能够在多层之间运送物品的事态。例如，如果是半导体处理设备的层间运送设备，则存在不能够继续半导体的生产的可能性。为了避免这种事态，考虑具备多个单位运送设备。但是，即使在设置了多个单位运送设备的情况下，虽然能够继续多层之间的物品的运送，但存在保管在与发生了故障的升降运送装置相对应的物品收纳部中的物品留在该保管用载货台上的可能性。
[0004]为此，希望实现即使升降运送装置发生了故障，也能够维持层间运送设备的运送功能，而且物品不会留在暂时保管用的收纳部中的层间运送设备。
【发明内容】
[0005]作为一个技术方案，在多层之间运送物品的层间运送设备具备:遍及前述多层的多个升降路径；和多个升降运送装置，分别沿着前述多个升降路径升降，在前述多层之间运送前述物品；
各升降运送装置具有:物品运送用的升降体，沿着各升降路径升降自如；和移载装置，与前述升降体一体地升降，并且在各层上在支撑前述物品的载货台与各升降运送装置之间移载运送对象的前述物品；
前述载货台包括:运入用载货台，支撑向各层运入的物品；运出用载货台，支撑从各层运出的物品；和保管用载货台，在各层暂时保管运送对象的物品；
前述运入用载货台以及前述运出用载货台在各层上设在能够在与一个前述移载装置之间移载前述物品的位置，
前述保管用载货台在各层上设在能够在与所有的前述移载装置之间移载前述物品的位置。
[0006]S卩、由于升降运送装置设有多个，所以即使在该多个升降运送装置中的某一个发生了故障，也能够由未发生故障的升降运送装置继续运送，维持系统的运送功能。此外，由于保管用载货台成为多个升降路径的所有升降运送装置中的前述移载装置的移载对象，所以即使某一个升降运送装置发生了故障，也能够由其它的升降运送装置取出由该保管用载货台支撑的物品。因此，物品不会留在保管用载货台上。这样，根据本结构，能够实现即使升降运送装置发生了故障，也能够维持层间运送设备的运送功能，而且物品不会留在保管用载货台上的层间运送设备。
[0007]作为一个技术方案，优选的是，层间运送设备设有对前述多个升降运送装置的工作进行控制的控制部，前述控制部执行排他移载控制，在同一层上使前述多个移载装置中的一个进行相对于前述保管用载货台的移载工作的期间，禁止其它的前述移载装置相对于该保管用载货台的移载工作。
[0008]S卩、由于在多个移载装置中的一个进行相对于其保管用载货台的移载工作的期间，其它的移载装置不进行相对于其保管用载货台的移载工作，所以多个移载装置不会同时相对于同一个保管用载货台进行移载工作。因此，能够以不发生与其它的移载装置或者其它的移载装置所支撑的物品的干涉的状态恰当地进行物品相对于保管用载货台的移载。
[0009]作为一个技术方案，优选的是，层间运送设备在多个前述升降运送装置的每一个上设有接近检测传感器，检测其它的升降运送装置中的移载装置的接近，在同一层上使多个前述移载装置移载工作的情况下，前述控制部基于针对该多个移载装置的前述升降运送装置中的至少一个升降运送装置的前述接近检测传感器的检测信息，执行对多个前述升降运送装置的工作进行控制的干涉避免控制，以避免在同一层上移载工作的多个前述移载装置彼此的干涉。
[0010]通过基于接近检测传感器的检测信息对多个升降运送装置的工作进行控制，能够恰当地避免多个移载装置彼此的干涉。因此，在同一层使移载装置移载工作时多个升降运送装置中的移载装置相互接近的情况下，能够恰当地避免这些装置发生干涉的事态。
[0011]作为一个技术方案，优选的是，层间运送设备在设置有前述保管用载货台的各层设有分隔体，将一个特定的前述升降运送装置所具有的前述移载装置进行物品的移载的情况下的工作区域分隔成从沿着前述升降路径的方向俯视观察为前述保管用载货台所在的区域，和该特定的升降运送装置所在的区域，前述分隔体在对前述工作区域进行分隔的作用状态和不对前述工作区域进行分隔的非作用状态之间切换自如，并且前述分隔体设成在前述作用状态下容许与前述特定的升降运送装置不同的其它的前述升降运送装置所具有的前述移载装置进行的物品相对于前述保管用载货台的移载。
[0012]例如，有作业者进行特定的升降运送装置的保养作业的情况。此时，通过预先使分隔体为作用状态，能够防止作业者无意识地侵入与成为保养作业对象的特定的升降运送装置邻接的升降运送装置的移载装置的工作区域。即、这样一来，能够确保保养作业的安全性。
[0013]作为一个技术方案，优选的是，层间运送设备中，前述多个移载装置的每一个具备支撑运送对象的物品的移载用支撑体，设在前述升降路径邻接的前述升降运送装置中的至少两台升降运送装置中一方的前述升降运送装置上的前述移载装置作为前述移载用支撑体具备以第1姿势支撑物品的第1移载用支撑体，设在另一方的前述升降运送装置上的前述移载装置作为前述移载用支撑体具备以与前述第1姿势不同的第2姿势支撑物品的第2移载用支撑体，在设在前述一方的前述升降运送装置上的前述移载装置移载物品的情况，和设在前述另一方的前述升降运送装置上的前述移载装置移载物品的情况的双方，前述至少两台的升降运送装置所具有的移载装置的任一个均能够移载物品的前述保管用载货台以相同的姿势支撑物品。
[0014]此外，作为一个技术方案，层间运送设备优选是分别设在前述升降路径邻接的前述升降运送装置中的至少两台升降运送装置上的两台前述移载装置隔着该两台移载装置所兼用的保管用载货台配置在对称的位置，物品在该两台移载装置中的一方朝向前表面一侧地载置，在另一方朝向后表面一侧地载置。
[0015]根据该结构，在层间运送设备中，作为保管用载货台具备能够以单一的姿势支撑物品的保管载货台即可。在具备多个升降运送装置所具有的移载装置共同利用的保管用载货台的情况下，无需因由第1移载用支撑体支撑物品的情况和由第2移载用支撑体支撑物品的情况的不同而切换保管用载货台的姿势。换句话说，这样，与能够切换保管用载货台的姿势地构成的情况相比，通过本结构能够谋求保管用载货台的结构简洁化。
[0016]此外，即使在针对多个升降路径的每一个设置的升降运送装置存在3台以上的情况下，作为该多个升降运送装置具备如下的升降运送装置，即具备第1移载用支撑体的升降运送装置，和具备第2移载用支撑体的升降运送装置，作为该3台以上的升降运送装置的每一个中的移载装置均移载的对象的保管用载货台以相同的姿势支撑作为具备第1移载用支撑体的移载装置移载的对象的物品，和作为具备第2移载用支撑体的移载装置移载的对象的物品，如上所述，与构成为切换保管用载货台的姿势的情况相比，能够谋求保管用载货台的结构简洁化。
[0017]层间运送设备的进一步的特征和优点根据针对参照附图所说明的实施方式的以下的记载而明确。
【附图说明】
[0018]图1是层间运送设备的整体立体图；
图2是层间运送设备的主要部分俯视图；
图3是表示邻接的两个升降运送装置和保管用载货台的位置关系的俯视图；
图4是表示容器授受时的载货用支撑体与移载用支撑体的位置关系的俯视图；
图5是表示障碍物传感器的检测作用的示意图；
图6是表示将容器支撑在保管用载货台上的状态的附图；
图7是控制框图；
图8是表示干涉避免控制的流程图；
图9是表示第2升降运送装置中发生了故障时的挡板的工作的附图；
图10是表示别的实施方式中的层间运送设备的结构的俯视图；