技术编号：9559091
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 以往，对于各种显示器用基板玻璃、特别是在表面上形成金属或氧化物薄膜等的 基板玻璃，例如如专利文献1所示，要求以下所示的特性。 (1)如果含有碱金属氧化物，则碱金属离子会向薄膜中扩散而使膜特性劣化，因此 要实质上不含碱金属离子。 (2)在薄膜形成工序中暴露于高温时，为了能将伴随玻璃的变形和玻璃的结构稳 定化产生的收缩（热收缩）抑制在最小限度，应变点要高。 (3)对半导体形成中使用的各种化学品要具有充分的化学耐久性。特别是对用于 蚀刻SiOxSSiNx的缓冲...
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