技术编号:9617516
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 非易失性存储器是一种即使电源中断仍然保持所存储数据的存储器。近来,由于 在硅衬底上将存储器单元形成为单层的二维存储器件的集成度的改进已经达到极限,已经 提出了三维非易失性存储器,所述三维非易失性存储器具有位于硅衬底上的垂直层叠的存 储器单元。 三维存储器件包括交替层叠的层间绝缘层和字线以及从中穿过的沟道层,并且存 储器单元沿沟道层层叠。此外,接触插塞(contact plug)分别连接至层叠的字线,因此选 择性地操作所期望的存储器单元。 然而,为了实现上...
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