半导体制造方法技术资料下载

技术编号:9632502

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通常,衬底的表面不包括所需的性能特征。未能包括特定的所需性能特征可导致 表面在某些环境中降解,不能满足某些性能要求,或它们的组合。例如,在某些环境中,金 属、玻璃和陶瓷表面可经受磨损和其他非期望的表面活性,诸如化学吸附、催化活性、腐蚀 侵蚀、氧化、副产物积累或粘滞和/或其他非期望的表面活性。 非期望的表面活性可导致其他分子的化学吸附、其他分子的可逆和不可逆的物理 吸附、与其他分子的催化反应性、来自外来物质的侵蚀、表面的分子分解、衬底的物理损失、 或它们的...
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