用于晶圆级封装件的互连结构及其形成方法技术资料下载

技术编号:9632583

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在诸如晶圆级封装(WLP)的传统的封装技术的方面中,再分布层(RDL)可以形成在管芯上方并且电连接至管芯中的有源器件。然后,可以形成诸如凸块下金属化层(UBM)上的焊料球的外部输入/输出(1/0)焊盘,以通过RDL电连接至管芯。这样的封装技术的有利特征在于,有可能形成扇出封装件。因此,与管芯相比,管芯上的1/0焊盘可以再分布至更大的面积,并且因此,可以增加封装在管芯的表面上的1/0焊盘的数量。在这样的封装技术中,可以在管芯周围形成模塑料,以提供用于支撑扇出...
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