技术编号：9669083
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明具有均匀硅化的鳍片末端部分的多栅极晶体管本申请是申请号为200980155389.4，申请日为2009年11月25日，发明名称为“具有均匀硅化的鳍片末端部分的多栅极晶体管”的中国专利申请的分案申请。大体上，本发明揭露关于高度复杂的集成电路的制造，其包括具有双栅极(FinFET)或三栅极结构的晶体管组件。背景技术先进的集成电路的制造，例如CPU、储存装置、特殊应用集成电路(ASIC，Applicat1n specific integrated cir...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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