技术编号:9669134
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。诸多半导体工艺过程中都需要利用晶圆传输装置来传送晶圆。现有晶圆传输装置均包括真空吸附机械手,其利用真空吸附的原理来吸附晶圆以将晶圆传送至所需位置。结合图1至图2所示,现有晶圆传输装置的真空吸附机械手2包括手臂3和固定在手臂3上的吸附绝缘凸台4,吸附绝缘凸台4与手臂3 —体成型。吸附绝缘凸台4沿垂直于手臂3的方向的投影面积小于手臂3,手臂3和吸附绝缘凸台4内设有真空气道5。在传送晶圆1时,将晶圆1的背面置于吸附绝缘凸台4上,此时晶圆1的背面与手臂3不接触,利...
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